特許
J-GLOBAL ID：200903010027480595

距離制御方法およびそれを用いた走査型プローブ顕微鏡

発明者：
紫藤 俊一

紫藤 俊一 について

, 
井辻 健明

井辻 健明 について


出願人/特許権者：
キヤノン株式会社

キヤノン株式会社 について


代理人 (1件)： 西山 恵三 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2001-386392
公開番号（公開出願番号）：特開2003-185556
出願日： 2001年12月19日
公開日（公表日）： 2003年07月03日
要約：
【要約】【課題】 振動させたプローブを試料表面に近づけたときに生じる力による振動周波数の変化を検出するプローブ顕微鏡の高速化、ノイズ低減による安定化。【解決手段】 周波数検出に用いる位相同期ループ(PLL)を距離制御系と一致させ、プローブ・試料表面の距離変化に対する振動周波数の変化を電圧制御発振器として用い、基準周波数に合わせる方法によりプローブ・試料表面の距離制御を行なう。
請求項（抜粋）：
プローブを該プローブの持つ機械共振の共振周波数で振動させながら測定試料に近づけるとき、該プローブと該測定試料との間に生じる力により起こる前記共振周波数の変化を利用し、該測定試料の微細な凹凸を観察する走査型プローブ顕微鏡において以下を含む、カンチレバー形状を持つプローブ、測定試料を該プローブに対向して保持するための試料保持機構、該プローブを該測定試料表面に平行に相対走査するための2次元走査機構、該プローブに振動を加えるための加振機構、該プローブの先端変位を検出する変位検出機構、加算周波数信号生成機構、該加算周波数信号生成機構からの加算周波数信号の周波数を該変位検出機構から出力される変位信号の周波数に加算する周波数加算機構、該周波数加算機構からの信号を濾波する第1のフィルタ、参照信号を発生させる参照信号発生機構、該参照信号発生機構からの参照信号と該第1のフィルタからの出力信号の位相差を検出する位相比較機構、該位相比較機構からの信号を濾波、積分する第2のフィルタ、該第2のフィルタからの信号を受け取って該距離変位機構を駆動させるための制御量を算出する制御量算出機構と駆動用アンプ。
IPC (2件)：
G01N 13/16 ,  G01B 21/30
FI (2件)：
G01N 13/16 A ,  G01B 21/30
Fターム (5件)：
2F069AA57 ,  2F069HH30 ,  2F069JJ14 ,  2F069MM23 ,  2F069NN02
引用特許：
審査官引用 (2件)

前のページに戻る

TOP

BOTTOM