特許
J-GLOBAL ID：200903010138024017

フィルター装置

発明者：
石部 英臣

石部 英臣 について


出願人/特許権者：
日本精線株式会社

日本精線株式会社 について


代理人 (1件)： 苗村 正 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2002-141922
公開番号（公開出願番号）：特開2003-334431
出願日： 2002年05月16日
公開日（公表日）： 2003年11月25日
要約：
【要約】【課題】 半導体製造ガス用の濾過などに採用しうる精密濾過のために好適に採用しうるフィルター装置を提供する。【解決手段】 被処理流体を濾過処理するフィルター部材と、互いに接合することにより前記フィルター部材を装着する内腔を形成する容器片からなるハウジングとを具え、前記フィルター部材は、底部の周縁で立ち上がる周壁部を有するカップ状をなしかつ少なくとも前記周壁部を濾過機能を発揮する濾過部とするとともに、前記フィルター部材を、前記濾過部よりも粗大な流路を有する通気性部を前記底部端面との間に介在させて前記内腔内かつ2つの容器片の向き合う対向面間に配置し、しかも前記容器片の前記接合を加熱結合により行うことによる冷却に伴う収縮によって、フィルター部材を前記対向面間で強圧して前記濾過部を通らない被処理流体のリークを防止することを特徴とするフィルター装置。
請求項（抜粋）：
被処理流体を濾過処理するフィルター部材と、互いに接合することにより前記フィルター部材を装着する内腔を形成する容器片からなるハウジングとを具え、前記フィルター部材は、底部の周縁で立ち上がる周壁部を有するカップ状をなしかつ少なくとも前記周壁部を濾過機能を発揮する濾過部とするとともに、前記フィルター部材を、前記濾過部よりも粗大な流路を有する通気性部を前記底部端面との間に介在させて前記内腔内かつ2つの容器片の向き合う対向面間に配置し、しかも前記容器片の前記接合を加熱結合により行うことによる冷却に伴う収縮によって、フィルター部材を前記対向面間で強圧して被処理流体のリークを防止することを特徴とするフィルター装置。
IPC (3件)：
B01D 71/02 ,  B01D 63/14 ,  B01D 69/12
FI (3件)：
B01D 71/02 ,  B01D 63/14 ,  B01D 69/12
Fターム (13件)：
4D006GA44 ,  4D006HA71 ,  4D006HA80 ,  4D006JA02A ,  4D006JA14Z ,  4D006JA18Z ,  4D006JA23Z ,  4D006JA25A ,  4D006JB01 ,  4D006MA09 ,  4D006MC02X ,  4D006PB20 ,  4D006PC01
引用特許：
審査官引用 (6件)
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