表面層欠陥検出装置

発明者： ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：田中隆秀 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-235183
公開番号（公開出願番号）：特開平7-092099
出願日： 1993年09月21日
公開日（公表日）： 1995年04月07日
要約：

【要約】【目的】円筒状の表面層の軸に垂直な(円周方向に沿う)筋状の凹みを高速に検出できるようにすること。【構成】円筒状の表面層を有する被検査体3をその軸3a周りに回転させる被検査体支持装置と、被検査体3の円筒状の表面層にその軸3a方向に沿う検査光を照射する検査光照射装置と、前記表面層からの散乱反射光量を検出する受光センサ13とを備えた表面層欠陥検出装置において、前記検査光照射装置は、前記被検査体3の軸方向両端近傍から被検査体3表面の軸3a方向中心部に向けて検査光を照射する投光器を有する。

請求項（抜粋）：

円筒状の表面層を有する被検査体をその軸周りに回転させる被検査体支持装置と、被検査体の円筒状の表面層にその軸方向に沿う検査光を照射する検査光照射装置と、前記表面層からの散乱反射光量を検出する受光センサとを備えた表面層欠陥検出装置において、下記の要件を備えたことを特徴とする表面層欠陥検出装置、(Y01) 前記検査光照射装置は、前記被検査体の軸方向両端近傍から被検査体表面の軸方向中心部に向けて検査光を照射する投光装置を有すること。

IPC (2件)：

G01N 21/88 , G01B 11/30

引用特許：

審査官引用 (7件)

特開平4-070553
特開昭58-180932
薄膜構造の検査方法及び検査装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平3-178686 出願人：キヤノン株式会社

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