放射線検出装置及びその製造方法

発明者： , , , ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：山下穣平
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-034903
公開番号（公開出願番号）：特開平9-230054
出願日： 1996年02月22日
公開日（公表日）： 1997年09月05日
要約：

【要約】【課題】大面積、コンパクト、高信頼性な放射線検出装置を作製する。【解決手段】少なくとも、光電変換素子と、駆動部と配線マトリクスとを有する基板101の一表面と、蛍光体シートPの一表面とを張り合わせる工程と、該蛍光体シートPと該基板101の外周部の少なくとも一部に封止部材106を設ける工程とを少なくとも有し、かつ該工程の少なくとも一工程を真空容器604内にて行うことを特徴とする放射線検出装置の製造方法及びそれにより製造された放射線検出装置。

請求項（抜粋）：

少なくとも光電変換素子を有する基板と、蛍光体シートとを張り合わせて形成する放射線検出装置において、上記蛍光体シートと上記基板との間が大気圧より低い状態に保持されて該大気圧によって密着していることを特徴とする放射線検出装置。

引用特許：

審査官引用 (5件)

防湿シール構造を有する平面X線イメージャ
公報種別：公開公報出願番号：特願平4-229699 出願人：ゼネラル・エレクトリック・カンパニイ
放射線検出素子
公報種別：公開公報出願番号：特願平3-224307 出願人：浜松ホトニクス株式会社
特開平1-316700

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