特許

J-GLOBAL ID：200903010340469934

力覚センサー

発明者： 金子 新二
出願人/特許権者： オリンパス光学工業株式会社
代理人 (1件)： 鈴江 武彦
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-066468
公開番号（公開出願番号）：特開平9-257612
出願日： 1996年03月22日
公開日（公表日）： 1997年10月03日
要約：

【要約】【課題】マイクロマニピュレータに適用可能な高感度で微小な力覚センサーガ提供できないこと。【解決手段】把持部(5) と、該把持部(5) に加えられる応力を検出するセンシング領域(3) と、前記把持部(5) 及びセンシング領域(3) を支持する基部(1) と、前記センシング領域(3) に接続され、前記基部(1) まで延在して設けられた配線(9〜15) とを具備した力覚センサーにおいて、前記把持部(5) 、センシング領域(3) 、基部(1) 及び配線(9〜15) を薄板状の半導体基板に一体的に形成したことを特徴とする力覚センサー。

請求項（抜粋）：

把持部と、該把持部に加えられる応力を検出する検出部と、前記把持部及び検出部を支持する基部と、前記検出部に接続され、前記基部まで延在して設けられた配線部とを具備した力覚センサーにおいて、前記把持部、検出部、基部及び配線部を薄板状の半導体基板に一体的に形成したことを特徴とする力覚センサー。

IPC (4件)：

G01L 5/16 ,  B25J 15/08 ,  B25J 19/02 ,  G01L 1/00

FI (4件)：

G01L 5/16 ,  B25J 15/08 W ,  B25J 19/02 ,  G01L 1/00 D

引用特許：

審査官引用 (2件)

• 力検出装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平4-259522   出願人：株式会社リコー
• マイクロマニピュレータ
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平7-291503   出願人：株式会社東海理化電機製作所