特許
J-GLOBAL ID:200903010370633470
傾斜端面を有する光導波路の製造方法
発明者:
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出願人/特許権者:
代理人 (5件):
小谷 悦司
, 小谷 昌崇
, 麻野 義夫
, 江川 勝
, 大西 裕人
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願2008-110363
公開番号(公開出願番号):特開2009-258563
出願日: 2008年04月21日
公開日(公表日): 2009年11月05日
要約:
【課題】目的とする傾斜端面形成部のみに正確に、且つ効率よく傾斜端面を形成することができる、傾斜端面を有する光導波路の製造方法を提供することを目的とする。【解決手段】光導波路中の傾斜端面を形成しようとする領域の上方から、先端部分に所定の傾斜面を有するルータービットを該光導波路に対して略垂直方向に切削させながら侵入させる工程と、前記侵入させたルータービットの高さを維持しながら光導波路の長手方向に対して垂直方向に走査することにより傾斜端面を形成する工程と、を備える傾斜端面を有する光導波路の製造方法を用いる。【選択図】図1
請求項(抜粋):
光導波路中の傾斜端面を形成しようとする領域の上方から、先端部分に所定の傾斜面を有するルータービットを該光導波路に対して略垂直方向に切削させながら侵入させる工程と、前記侵入させたルータービットの高さを維持しながら光導波路の長手方向に対して垂直方向に走査することにより傾斜端面を形成する工程と、を備えることを特徴とする傾斜端面を有する光導波路の製造方法。
IPC (1件):
FI (1件):
Fターム (31件):
2H147BG02
, 2H147CA13
, 2H147EA13A
, 2H147EA13B
, 2H147EA13C
, 2H147EA14A
, 2H147EA14B
, 2H147EA14C
, 2H147EA16A
, 2H147EA16B
, 2H147EA16C
, 2H147EA17A
, 2H147EA17B
, 2H147EA17C
, 2H147EA19A
, 2H147EA19B
, 2H147EA19C
, 2H147EA20A
, 2H147EA20B
, 2H147EA20C
, 2H147FA01
, 2H147FA06
, 2H147FA09
, 2H147FA17
, 2H147FB01
, 2H147FB04
, 2H147FC02
, 2H147FC08
, 2H147FD15
, 2H147FE02
, 2H147GA16
引用特許:
出願人引用 (2件)
審査官引用 (5件)
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