特許
J-GLOBAL ID：200903024231341201

光導波路への偏向ミラー製造方法

発明者：
柳生 博之

柳生 博之 について

, 
中芝 徹

中芝 徹 について

, 
橋本 眞治

橋本 眞治 について


出願人/特許権者：
松下電工株式会社

松下電工株式会社 について


代理人 (2件)： 西川 惠清 ,  森 厚夫
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2005-048029
公開番号（公開出願番号）：特開2006-235126
出願日： 2005年02月23日
公開日（公表日）： 2006年09月07日
要約：
【課題】ダイシングブレードでの切削による偏向ミラーの形成に関する問題を無くす。【解決手段】少なくとも片面が所望の傾斜角となっているダイシングブレード3にて光導波路1に傾斜面を有する溝20を切り込んで光導波路に上記傾斜面で偏向ミラーを形成するにあたり、ダイシングブレード3として上記溝20の深さの値以上の幅の平面部を刃先先端面に有しているものを用いる。ダイシングブレードとして幅のある強度の高いものを用いることができる。【選択図】図1
請求項（抜粋）：
少なくとも片面が所望の傾斜角となっているダイシングブレードにて光導波路に傾斜面を有する溝を切り込んで光導波路に上記傾斜面による偏向ミラーを形成するにあたり、ダイシングブレードとして上記溝の深さの値以上の幅の平面部を刃先先端面に有しているものを用いることを特徴とする光導波路への偏向ミラー製造方法。
IPC (1件)：
G02B 6/13
FI (1件)：
G02B6/12 M
Fターム (14件)：
2H147AB31 ,  2H147BG02 ,  2H147BG07 ,  2H147CA13 ,  2H147EA20A ,  2H147EA20B ,  2H147FA06 ,  2H147FA09 ,  2H147FA17 ,  2H147FB04 ,  2H147FC08 ,  2H147FD08 ,  2H147FE02 ,  2H147GA16
引用特許：
出願人引用 (1件) 審査官引用 (6件)
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