特許

J-GLOBAL ID：200903010395326415

液晶パネル配向塗膜乾燥装置

発明者： 最上 敦
出願人/特許権者： ナカン株式会社
代理人 (3件)： 牧 哲郎 ,  牧 レイ子 ,  菊谷 公男
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2003-025348
公開番号（公開出願番号）：特開2004-233912
出願日： 2003年02月03日
公開日（公表日）： 2004年08月19日
要約：

【課題】液晶パネル配向塗膜の乾燥に際し、均一な鏡面状の乾燥皮膜の形成を可能とするとともに、静電気による障害を抑えて高品質の乾燥皮膜を形成することが可能な簡易な構成の液晶パネル配向塗膜乾燥装置を提供する。【解決手段】液晶パネル配向塗膜乾燥装置は、平板状の目的基板6を収容して気密に封止が可能な気密容器1,2と、この気密容器1,2から充満気体を排出する吸引減圧機構8,9とから構成され、上記気密容器1,2には、目的基板6を平坦に支持しうる長さと間隔で起立する複数本の支持ピン3...を備えて構成する。【選択図】 図1

請求項（抜粋）：

平板状の目的基板を収容して気密に封止が可能な気密容器と、この気密容器からその内部の充満気体を排出する吸引減圧機構とからなる液晶パネル配向塗膜乾燥装置であって、 上記気密容器には、目的基板を平坦に支持しうる長さと間隔で起立する複数本の支持ピンを備えることを特徴とする液晶パネル配向塗膜乾燥装置。

IPC (4件)：

G02F1/1337 ,  F26B21/00 ,  F26B21/14 ,  G02F1/13

FI (4件)：

G02F1/1337 ,  F26B21/00 H ,  F26B21/14 ,  G02F1/13 101

Fターム (15件)：

2H088FA21 ,  2H088FA30 ,  2H088HA03 ,  2H088MA04 ,  2H088MA18 ,  2H088MA20 ,  2H090HC06 ,  2H090HC15 ,  2H090HC18 ,  3L113AA03 ,  3L113AB10 ,  3L113AC08 ,  3L113BA34 ,  3L113CB16 ,  3L113DA24

引用特許：

審査官引用 (4件)

• 減圧乾燥装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平8-232828   出願人：大日本スクリーン製造株式会社
• 塗布膜形成方法及び液晶装置の製造方法、並びに成膜装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平11-357948   出願人：セイコーエプソン株式会社
• 熱処理方法及び熱処理装置並びに処理装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平7-273757   出願人：東京エレクトロン株式会社, 東京エレクトロン九州株式会社
• 液晶表示素子の製造方法および乾燥装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2001-367097   出願人：株式会社日立製作所