赤外線検出素子及びその製造方法

発明者： , ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：東野博文
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-324075
公開番号（公開出願番号）：特開平11-160146
出願日： 1997年11月26日
公開日（公表日）： 1999年06月18日
要約：

【要約】【課題】制作が容易で、赤外波長領域での波長依存性の少ない赤外線検出素子を実現する。【解決手段】赤外光を赤外線吸収体で熱にしてその温度変化を測温抵抗体により検出する赤外線検出素子において、凹曲面である窪みが形成されその窪み部分に反射膜が形成された第1の基板と、絶縁膜が形成されこの絶縁膜の上に測温抵抗体が形成されると共に絶縁膜上であって測温抵抗体の両端に電極が形成され、絶縁膜が形成された側と反対の側に窪みが形成されその窪みの底部分に反射防止膜が形成された第2の基板とを備え、反射膜で構成される凹面鏡の焦点が測温抵抗体に一致するように第1及び第2の基板を接合する。

請求項（抜粋）：

赤外光を赤外線吸収体で熱にしてその温度変化を測温抵抗体により検出する赤外線検出素子において、凹曲面である窪みが形成されその窪み部分に反射膜が形成された第1の基板と、絶縁膜が形成されこの絶縁膜の上に測温抵抗体が形成されると共に前記絶縁膜上であって前記測温抵抗体の両端に電極が形成され、前記絶縁膜が形成された側と反対の側に窪みが形成されその窪みの底部分に反射防止膜が形成された第2の基板とを備え、前記反射膜で構成される凹面鏡の焦点が前記測温抵抗体に一致するように前記第1及び第2の基板を接合したことを特徴とする赤外線検出素子。

IPC (2件)：

G01J 1/02 , G01J 5/02

FI (2件)：

G01J 1/02 R , G01J 5/02 B

引用特許：

審査官引用 (4件)

赤外線センサおよびその製造方法
公報種別：公開公報出願番号：特願平5-034906 出願人：日産自動車株式会社
特開昭63-108762
赤外線センサおよびその作製方法
公報種別：公開公報出願番号：特願平6-110763 出願人：株式会社村田製作所

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