特許
J-GLOBAL ID：200903010424893723

静電アクチュエータとその製造方法

発明者：
金丸 昌敏

金丸 昌敏 について

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原田 武

原田 武 について

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江刺 正喜

江刺 正喜 について


出願人/特許権者：
株式会社日立製作所

株式会社日立製作所 について


代理人 (1件)： 鵜沼 辰之
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-150851
公開番号（公開出願番号）：特開平11-346482
出願日： 1998年06月01日
公開日（公表日）： 1999年12月14日
要約：
【要約】【課題】 本発明は信頼性が高く、高精度な位置決め制御が可能なアクチュエータを提供する。【解決手段】 一体構造の可動電極を設け、かつ、お互いに相対する一対の櫛歯が駆動方向に少なくとも二対以上の固定電極を前記可動電極の両側に設けた構造とする。固定電極および可動電極は1枚の単結晶シリコンをエッチング加工して形成する。可動電極は偶数個の固定端から支持され、可動電極の両側に、お互いに相対する一対の櫛歯が駆動方向に少なくとも二対以上の固定電極が配置されている構造を用いる。さらに、両電極に駆動方向と平行に多数の櫛歯が形成されている構造とする。さらに、固定電極および可動電極は電極が配線されたガラス基板と陽極接合によって固定し、その反対面は可動電極と陽極接合された別のガラス基板と接合されている構造を用いる。さらに、前記固定電極および可動電極の周囲には側壁を設けた構造のアクチュエータとするのが望ましい。
請求項（抜粋）：
基板に固定され櫛歯状の電極を備えた固定電極と、該固定電極の櫛歯状の電極に対向する櫛歯状の電極を備え、該固定電極に対して相対的に移動可能に配置された可動電極を有し、両電極間に電位差を与えることによって発生する静電気力を利用して可動電極を前記固定電極に対して相対的に移動させるアクチュエータにおいて、前記可動電極は該可動電極を前記基板に結合する固定端を含んで一体構造に形成され、かつ、前記固定電極は前記可動電極を挟んでその両側に対をなして配置されると共に、前記可動電極の移動方向に分割され、電気的に互いに絶縁された少なくとも二対からなり、前記固定電極および可動電極に単結晶シリコンを用い、前記可動電極の移動方向を前記櫛歯の長手方向にしたことを特徴とする静電アクチュエータ。
IPC (2件)：
H02N 1/00 ,  H01L 21/68
FI (2件)：
H02N 1/00 ,  H01L 21/68 G
引用特許：
審査官引用 (4件)
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