特許

J-GLOBAL ID：200903010445883779

加工テーブル

発明者： 田村 宙治
出願人/特許権者： 株式会社ディスコ
代理人 (1件)： 小野 尚純
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2000-186412
公開番号（公開出願番号）：特開2002-009019
出願日： 2000年06月21日
公開日（公表日）： 2002年01月11日
要約：

【要約】【課題】 チャックテーブルをその上面精度に影響を及ぼすことなくテーブル基台に取り付けることができるとともに、その取付け作業性を良好にすることができる加工テーブルを提供する。【解決手段】 テーブル基台と、該テーブル基台の上面に載置されるチャックテーブルと、該チャックテーブルをテーブル基台に取り付けるためのチャックテーブル取付機構とを有する加工テーブルであって、チャックテーブル取付機構は、テーブル基台の外周に装着され上側が開放された係合凹部を備えた一対のブラケットと、チャックテーブルの外周に装着され一対のブラケットに設けられた係合凹部に遊嵌する一対の係合ピンと、一対の係合ピンに一端が係止されチャックテーブルをテーブル基台の上面に向けて押圧するとともに、一対の係合ピンを係合凹部の一側壁に向けて押圧するバネ部材とを具備している。

請求項（抜粋）：

上面に開口する吸引通路を備えたテーブル基台と、該テーブル基台の上面に載置されるチャックテーブルと、該チャックテーブルを該テーブル基台に取り付けるためのチャックテーブル取付機構とを有する加工テーブルにおいて、該チャックテーブル取付機構は、該テーブル基台の外周に装着され上側が開放された係合凹部を備えた一対のブラケットと、該チャックテーブルの外周に装着され該一対のブラケットに設けられた該係合凹部に遊嵌する一対の係合ピンと、該一対の係合ピンに一端が係止され該チャックテーブルを該テーブル基台の上面に向けて押圧するとともに、該一対の係合ピンを該係合凹部の一側壁に向けて押圧する弾性付勢手段と、を具備する、ことを特徴とする加工テーブル。

IPC (4件)：

H01L 21/301 ,  B23Q 1/25 ,  B23Q 3/08 ,  B28D 7/04

FI (4件)：

B23Q 3/08 A ,  B28D 7/04 ,  H01L 21/78 F ,  B23Q 1/16

Fターム (10件)：

3C016AA01 ,  3C016CE05 ,  3C016DA02 ,  3C016HA02 ,  3C016HA04 ,  3C048AA01 ,  3C048BC02 ,  3C048DD12 ,  3C069CB01 ,  3C069EA01

引用特許：

出願人引用 (2件)

• ダイシング装置のテーブル機構
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平6-227464   出願人：株式会社ディスコ
• ダイシング装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平6-100818   出願人：株式会社村田製作所