特許
J-GLOBAL ID：200903010494169879

圧電素子およびその製造方法、圧電アクチュエータ、並びに、液体噴射ヘッド

発明者：
中山 雅夫

中山 雅夫 について

, 
平井 栄樹

平井 栄樹 について


出願人/特許権者：
セイコーエプソン株式会社

セイコーエプソン株式会社 について


代理人 (3件)： 布施 行夫 ,  大渕 美千栄 ,  永田 美佐
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2008-047867
公開番号（公開出願番号）：特開2009-206329
出願日： 2008年02月28日
公開日（公表日）： 2009年09月10日
要約：
【課題】信頼性の高い圧電素子およびその製造方法を提供する。【解決手段】本発明に係る圧電素子100は、基板10と、基板10の上方に形成された下部電極20と、下部電極20の上方に形成され、短辺と長辺を有する圧電体層30と、圧電体層30の上方に形成された上部電極40と、を含み、圧電体層30の対向する短辺が、平面視において、下部電極20より外側に位置し、下部電極20の側面と圧電体層30とが接する領域に空洞部50を有する。【選択図】図1
請求項（抜粋）：
基板と、 前記基板の上方に形成された下部電極と、 前記下部電極の上方に形成され、短辺と長辺を有する圧電体層と、 前記圧電体層の上方に形成された上部電極と、を含み、 前記圧電体層の対向する前記短辺が、平面視において、前記下部電極より外側に位置し、 前記下部電極の側面と前記圧電体層とが接する領域に空洞部を有する、圧電素子。
IPC (8件)：
H01L 41/09 ,  H01L 41/187 ,  H01L 41/18 ,  H01L 41/22 ,  B41J 2/045 ,  B41J 2/055 ,  B41J 2/16 ,  H02N 2/00
FI (7件)：
H01L41/08 J ,  H01L41/18 101D ,  H01L41/18 101Z ,  H01L41/22 Z ,  B41J3/04 103A ,  B41J3/04 103H ,  H02N2/00 B
Fターム (9件)：
2C057AF65 ,  2C057AG12 ,  2C057AP21 ,  2C057AP32 ,  2C057AP52 ,  2C057AP53 ,  2C057AP57 ,  2C057BA04 ,  2C057BA14
引用特許：
出願人引用 (1件) 審査官引用 (1件)

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