特許
J-GLOBAL ID：200903082716399526

アクチュエータ装置及びその製造方法並びに液体噴射ヘッド及び液体噴射装置

発明者：
八十島 健

八十島 健 について


出願人/特許権者：
セイコーエプソン株式会社

セイコーエプソン株式会社 について


代理人 (2件)： 栗原 浩之 ,  村中 克年
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2006-069803
公開番号（公開出願番号）：特開2006-297909
出願日： 2006年03月14日
公開日（公表日）： 2006年11月02日
要約：
【課題】下電極と引き出し配線とを確実に絶縁して信頼性を向上すると共に製造コストを低減し、且つ均一で優れた圧電特性の圧電素子を有するアクチュエータ装置及びその製造方法並びに液体噴射ヘッド及び液体噴射装置を提供する。【解決手段】基板10の一方面に形成された振動板と、該振動板上に形成された下電極60、圧電体層70及び上電極80からなる圧電素子300と、前記上電極80から前記振動板上まで前記圧電素子300の一側面を介して引き出された引き出し配線90とを具備し、前記圧電素子300の前記引き出し配線90が形成される一側面に前記下電極60の端面が露出されると共に、少なくとも前記下電極60の端面と前記引き出し配線との間には中空部93を形成する。【選択図】図2
請求項（抜粋）：
基板の一方面に形成された振動板と、該振動板上に形成された下電極、圧電体層及び上電極からなる圧電素子と、前記上電極から前記振動板上まで前記圧電素子の一側面を介して引き出された引き出し配線とを具備し、 前記圧電素子の前記引き出し配線が形成される一側面に前記下電極の端面が露出されると共に、少なくとも前記下電極の端面と前記引き出し配線との間には中空部を有することを特徴とするアクチュエータ装置。
IPC (3件)：
B41J 2/045 ,  B41J 2/055 ,  B41J 2/16
FI (2件)：
B41J3/04 103A ,  B41J3/04 103H
Fターム (8件)：
2C057AF66 ,  2C057AG44 ,  2C057AG91 ,  2C057AP02 ,  2C057AP32 ,  2C057AP33 ,  2C057AP52 ,  2C057AQ02
引用特許：
出願人引用 (2件) 審査官引用 (3件)

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