特許
J-GLOBAL ID：200903010501436284
固体撮像装置およびその製造方法
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
滝本 智之 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-060529
公開番号（公開出願番号）：特開平9-252105
出願日： 1996年03月18日
公開日（公表日）： 1997年09月22日
要約：
【要約】【課題】 読み出し駆動電圧の低電圧化、スミア低減ができ、高い飽和特性を維持し、製造工程での注入マスクの合わせばらつきに起因するこれらの特性の変動をなくし、製造コストの削減をする。【解決手段】 n型半導体基板1の表面に選択的に形成されたn型拡散層4と、n型拡散層4の直下部に位置し、それぞれの端がn型拡散層4の両端の位置と等しくなるように形成されたp型拡散層3を有することにより、読み出し駆動電圧の低電圧化、スミア低減ができ、高い飽和特性を維持し、製造工程での注入マスクの合わせばらつきに起因するこれらの特性の変動がなく、製造コストの削減ができる。
請求項（抜粋）：
半導体基板表面に選択的に形成されたn型拡散層と、前記半導体基板の前記n型拡散層の直下部に位置し、端が前記n型拡散層の端の位置と等しくなるように形成されたp型拡散層とを有することを特徴とする固体撮像装置。
IPC (2件)：
FI (2件)：
H01L 27/14 B
, H04N 5/335 F
