特許
J-GLOBAL ID：200903010517395103
静圧空気軸受直線案内装置
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
稲葉 良幸 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-311658
公開番号（公開出願番号）：特開2000-136824
出願日： 1998年11月02日
公開日（公表日）： 2000年05月16日
要約：
【要約】【課題】 大きな温度変化が生じてもバイメタル現象が起こることを低減し、安定した真直度精度を保つことが可能な静圧気体軸受直線案内装置を提供する。【解決手段】 基台1上を案内方向に移動可能な可動体としてのテーブル3と、テーブル3を気体によって支持・案内する空気軸受部6、7、8と、空気軸受部6、7、8に対して吸引力を与える吸引力付与部10と、を備え、基台1はセラミックスまたは石からなり、吸引力付与部10は吸引レール部10aを備え、吸引レール部10aの熱膨張係数は、基台1の熱膨張係数とほぼ同じである。
請求項（抜粋）：
基台上を案内方向に移動可能な可動体と、当該可動体を気体によって支持・案内する空気軸受部と、当該可動体を当該基台に対して吸引する吸引力付与部と、を備えた静圧気体軸受直線案内装置であって、前記基台はセラミックスまたは石から構成され、前記吸引力付与部は前記基台に固定される吸引レール部を備え、当該吸引レール部の熱膨張係数は、前記基台の熱膨張係数とほぼ同じである静圧気体軸受直線案内装置。
IPC (2件)：
FI (2件)：
F16C 32/00 C
, F16C 32/06 A
3J102AA01
, 3J102AA02
, 3J102BA07
, 3J102CA33
, 3J102DA06
, 3J102EA02
, 3J102EA07
, 3J102EA13
, 3J102FA06
, 3J102GA01
