特許
J-GLOBAL ID：200903010520687417

薄板体収納容器

発明者：
兵部 行遠

兵部 行遠 について

, 
枝村 洋一

枝村 洋一 について

, 
松鳥 千明

松鳥 千明 について


出願人/特許権者：
ミライアル株式会社

ミライアル株式会社 について


代理人 (8件)： 鈴江 武彦 ,  河野 哲 ,  中村 誠 ,  蔵田 昌俊 ,  峰 隆司 ,  福原 淑弘 ,  村松 貞男 ,  橋本 良郎
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2005-334470
公開番号（公開出願番号）：特開2007-142192
出願日： 2005年11月18日
公開日（公表日）： 2007年06月07日
要約：
【課題】部品点数を削減することで小型化を図ることができるとともに、製造コストを低減すること。【解決手段】内部に半導体ウエハWを複数枚収納するとともに、半導体ウエハWを出し入れするための開口部26を有する容器本体20と、開口部26を開閉自在に蓋する蓋体100と、蓋体100で開口部26を蓋したときに容器本体20を気密に密閉するシール材105と、側面部22,23の内面に形成され、半導体ウエハWを厚さ方向に離間し、かつ、平行に配列支持する薄板体支持部30とを具備し、容器本体20と半導体ウエハWを支持する薄板体支持部30とはポリブチレンテレフタレートで一体に成形されている。【選択図】 図1
請求項（抜粋）：
内部に薄板体を複数枚収納するとともに、上記薄板体を出し入れするための開口部を有する有底四角筒状の容器本体と、 上記開口部を開閉自在に蓋する蓋体と、 上記蓋体で上記開口部を蓋したときに上記容器本体を気密に密閉するシール材と、 上記容器本体の相対向する一対の側面部の内面に形成され、上記複数の薄板体を厚さ方向に離間し、かつ、平行に配列支持する薄板体支持部とを具備し、 上記薄板体支持部は、上記薄板体の面側を載置するとともに上記薄板体の積層方向に突出する凸部が設けられた板状の薄板体支持リブと、上記薄板体支持リブ部相互間に設けられ、上記薄板体の外周部と略定間隔に離間近接して形成された壁部とを備え、 上記容器本体と上記薄板体支持部とは同一の材料で一体に成形されていることを特徴とする薄板体収納容器。
IPC (2件)：
H01L 21/673 ,  B65D 85/86
FI (3件)：
H01L21/68 T ,  B65D85/38 R ,  B65D85/38 S
Fターム (29件)：
3E096AA06 ,  3E096BA16 ,  3E096BA20 ,  3E096BB04 ,  3E096CA02 ,  3E096CB03 ,  3E096CC02 ,  3E096DA02 ,  3E096DA05 ,  3E096DA13 ,  3E096DA17 ,  3E096DA23 ,  3E096DA30 ,  3E096DB01 ,  3E096DC01 ,  3E096EA02X ,  3E096FA03 ,  3E096FA07 ,  3E096FA09 ,  3E096FA10 ,  3E096FA29 ,  3E096GA01 ,  3E096GA04 ,  5F031CA02 ,  5F031DA08 ,  5F031EA02 ,  5F031EA14 ,  5F031EA19 ,  5F031PA30
引用特許：
出願人引用 (2件)
  • 実公平6-13114号公報
  • 特許3538204号公報
審査官引用 (3件)

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