特許

J-GLOBAL ID：200903064911501434

基板収納容器

発明者： 中山 孝行 ,  角 敦
出願人/特許権者： 信越ポリマー株式会社
代理人 (3件)： 藤本 英介 ,  神田 正義 ,  宮尾 明茂
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2003-295323
公開番号（公開出願番号）：特開2005-064378
出願日： 2003年08月19日
公開日（公表日）： 2005年03月10日
要約：

【課題】 コンベヤ搬送時の振動等により基板と支持リブが擦れて基板が汚染するのを抑制防止し、例えコンベヤ搬送時に大きな衝撃が作用しても、容器本体と基板が強く接触して損傷したり、破損することのない基板収納容器を提供する。【解決手段】 複数枚の半導体ウェーハを支持リブ2を介して整列収納するフロントオープンボックスタイプの容器本体1と、容器本体1の底面に着脱自在に装着されるボトムプレート30と、このボトムプレート30の左右両側部にそれぞれ一体形成されるコンベヤ接触レール40とを備える。そして、各コンベヤ接触レール40により、コンベヤで密封状態の容器本体1が搬送される場合に半導体ウェーハに加わる振動や衝撃を抑制する。【選択図】図1

請求項（抜粋）：

容器本体に基板を収納する基板収納容器であって、容器本体及び/又は容器本体の底部に取り付けられるボトムプレートに設けられるコンベヤ接触レールを備え、このコンベヤ接触レールにより、コンベヤで容器本体が搬送される場合に基板に加わる振動を抑制するようにしたことを特徴とする基板収納容器。

IPC (1件)：

H01L21/68

FI (1件)：

H01L21/68 T

Fターム (14件)：

5F031CA02 ,  5F031DA08 ,  5F031EA02 ,  5F031EA03 ,  5F031EA06 ,  5F031EA09 ,  5F031EA10 ,  5F031EA11 ,  5F031EA12 ,  5F031EA14 ,  5F031EA20 ,  5F031KA20 ,  5F031PA23 ,  5F031PA26

引用特許：

出願人引用 (3件)

• 基板収納容器
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平11-112509   出願人：信越ポリマー株式会社
• ウェハー容器
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平9-188652   出願人：フルオロウェア・インコーポレーテッド
• 基板収納容器
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2000-184605   出願人：信越ポリマー株式会社

審査官引用 (1件)

• 基板収納容器
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2000-184605   出願人：信越ポリマー株式会社