特許
J-GLOBAL ID：200903010568819471
感光性樹脂組成物、およびこれを使用したパターン形成方法
発明者：
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出願人/特許権者：
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-050431
公開番号（公開出願番号）：特開平10-246960
出願日： 1997年03月05日
公開日（公表日）： 1998年09月14日
要約：
【要約】【課題】製造方法が簡便であり、塗布性および保存安定性に優れ、プロセスラティチュードが広く、パターン形成が容易な感光性樹脂組成物を得る。【解決手段】シリコンに直結したメチル基およびシラノール基を有し、かつ、シラノール含有率が0.1〜2.0であるアルカリ可溶性シロキサンポリマー(但し、シラノール含有率は、赤外分光分析による900cm-1のシラノール基と1271cm-1のシリコン-メチル基による吸収ピークの吸光度比、Abs(900cm-1)/Abs(1271cm-1)をさす。)、放射線の作用によって反応促進剤を発生する化合物、および溶剤を含有することを特徴とする感光性樹脂組成物。
請求項（抜粋）：
(1)シリコンに直結したメチル基、およびシラノール基を有し、かつシラノール含有率が0.1〜2.0であるアルカリ可溶性シロキサンポリマー(但し、シラノール含有率は、赤外分光分析による900cm-1のシラノール基と1271cm-1のシリコン-メチル基による吸収ピークの吸光度比すなわちAbs(900cm-1)/Abs(1271cm-1)をさす。)(2)放射線の作用によって反応促進剤を発生する化合物(3)溶剤を主成分とする感光性樹脂組成物。
IPC (5件)：
G03F 7/075 511
, G03F 7/004 503
, H05K 3/06
, H05K 3/18
, H05K 3/28
G03F 7/075 511
, G03F 7/004 503 Z
, H05K 3/06 H
, H05K 3/18 D
, H05K 3/28 C
出願人引用 (5件)
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審査官引用 (5件)
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