特許
J-GLOBAL ID：200903010571313929

X線撮像装置

発明者：
臣永 完

臣永 完 について

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深町 哲昭

深町 哲昭 について

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片桐 寿

片桐 寿 について


出願人/特許権者：
株式会社日立国際電気

株式会社日立国際電気 について


公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-335695
公開番号（公開出願番号）：特開2001-153819
出願日： 1999年11月26日
公開日（公表日）： 2001年06月08日
要約：
【要約】【課題】 X線断層像の観察と、任意な角度からのX線透視像とを一台の検査装置でできるようにする。【解決手段】 透過形X線源の下方で被測定物を回転させる中空回転軸と、この回転軸上で被測定物を水平方向にXY位置決めするXYステージと、中空回転軸を鉛直方向に移動させるZステージと、X線源の斜下に水平に配設されたX線検出面を有し、検出したX線像を被測定物と同期して回転させて断層像を得るラミノグラフ撮像部と、X線源のX線出射点からの鉛直線を対称軸としてX線ラミノグラフ撮像部と対称な方向にX線透視撮像部を設け、このX線透視撮像部を水平方向に移動可能にすると同時に、この水平移動に合わせて透視撮像用X線検出部が常にX線源の方を向くようにし、さらに、透視撮像用X線検出部とX線出射点を結ぶX線光軸上に被測定点が移動させるようにした。
請求項（抜粋）：
被測定物に対しX線を放射する透過形X線源と、該X線源によって前記被測定物のX線断層像を得る為の第1のX線撮像手段と、前記X線源によって前記被測定物の可変斜視角透視像を得る第2のX線撮像手段とを有することを特徴とするX線撮像装置。
IPC (2件)：
G01N 23/04 ,  H05K 3/00
FI (2件)：
G01N 23/04 ,  H05K 3/00 V
Fターム (19件)：
2G001AA01 ,  2G001BA11 ,  2G001CA01 ,  2G001DA02 ,  2G001GA04 ,  2G001GA08 ,  2G001GA13 ,  2G001HA12 ,  2G001HA13 ,  2G001HA14 ,  2G001HA20 ,  2G001JA08 ,  2G001JA11 ,  2G001JA20 ,  2G001KA03 ,  2G001LA11 ,  2G001MA05 ,  2G001PA11 ,  2G001PA12
引用特許：
審査官引用 (3件)
  • X線透過検査装置
    公報種別：公開公報   出願番号：特願平10-057303   出願人：株式会社ユニハイト
  • X線断層撮影方法及びその装置
    公報種別：公開公報   出願番号：特願平4-158121   出願人：株式会社日立製作所
  • ラミノグラフ
    公報種別：公開公報   出願番号：特願平5-299197   出願人：株式会社東芝

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