特許
J-GLOBAL ID：200903072526355870
X線透過検査装置
発明者：
出願人/特許権者：
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-057303
公開番号（公開出願番号）：特開平11-218503
出願日： 1998年02月03日
公開日（公表日）： 1999年08月10日
要約：
【要約】【課題】 簡単な構成で被検電子部品の内部接続構造の高精度の検査が可能なX線透過検査装置を提供する。【解決手段】 試料駆動ユニット18により、被検電予部品12の検査域が、X線発生源6からのX線の光軸上に位置するように、被検電子部品12が試料台1上で位置決めされ、X線発生源駆動モータ8により、X線発生源6と試料台1間距離の調整で検査倍率が設定され、CPUによりX線発生源6と試料台1とが固定された状態で、検出センサ駆動ユニット22により、検出センサ23がX線の照射領域内で3次元的に位置調整され、被検電子部品12の所定方向の透過像が検出可能に制御され、試料台1上に載置された被検電子部品12にX線発生源6からのX線が照射され、検出センサ23により、被検電子部品12の検査領域の透過像が検出され、モニタに画像表示され、被検電子部品12の内部構造を任意の方向から所望の検査倍率で高精度に検査可能になる。
請求項（抜粋）：
試料テーブル上に載置された被検電子部品にX線発生源からのX線を照射し、検出センサによって、前記被検電子部品の検査領域の透過像を検出し、モニタに画像表示するX線透過検査装置であり、前記検査領域が、前記X線のほぼ光軸上に位置するように、前記被検電子部品を前記試料テーブル上で位置決めする位置設定手段と、前記X線発生源と前記試料テーブル間距離を調整し、前記被検電子部品の検査倍率を設定する倍率設定手段と、前記X線の照射領域内において、前記検出センサを3次元的に位置調整する検出センサ位置調整手段と、前記試料テーブルを前記光軸を中心に水平回転する試料テーブル回転手段と、前記X線発生源と前記試料テーブルとを固定し、前記検出センサ位置調整手段により、前記検出センサを位置調整して、前記被検電子部品の所定方向の透過像を検出するように制御を行なう検査制御手段とを有することを特徴とするX線透過検査装置。
IPC (2件)：
FI (2件)：
引用特許：
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