特許

J-GLOBAL ID：200903010578954687

ワイヤソー切断装置

発明者： 大石 弘 ,  浅川 慶一郎 ,  松崎 順一
出願人/特許権者： 株式会社スーパーシリコン研究所 ,  株式会社東京精密
代理人 (1件)： 小倉 亘
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-234163
公開番号（公開出願番号）：特開2000-061809
出願日： 1998年08月20日
公開日（公表日）： 2000年02月29日
要約：

【要約】【目的】 ワイヤに加わる張力が異常上昇する前兆を捉え、前兆が見られたときに切断作業の停止,張力の緩和等のアクションを採ることにより、ワイヤの破断を確実に防止し、ワイヤソー切断装置の稼動効率を向上させる。【構成】 グルーブローラ1〜3に周回させたワイヤ5でインゴット9をスライスし、ウェーハを切り出す。ワイヤ5に加わる張力を張力検出センサ21で検出し、或いはダンサローラ19の上下変位を位置検出センサ20で検出する。検出結果から張力変動幅,変動速度,変動加速度,ダンサローラ19の上下変位量,変位速度,変位加速度等を求め、得られた値を演算判断回路22で閾値と比較することによって張力の異常上昇となる前兆を判定し、制御装置23に切断作業の停止或いは張力緩和等の制御信号を出力する。

請求項（抜粋）：

インゴット切断用のワイヤが周回する多数の溝を周面にもつ複数のグルーブローラと、グルーブローラにデフレクタローラを経てワイヤを送り出す新線用ワイヤリールと、グルーブローラからデフレクタローラを経て送り出されたワイヤを巻き取る巻取り用ワイヤリールと、走行するワイヤに所定の張力を付与する張力調整機構と、グルーブローラとデフレクローラとの間に配置され、ワイヤに加えられている張力を検出する張力検出センサと、ワイヤの張力検出値が入力され、張力の変動幅及び/又は変動の速度或いは加速度から異常の前兆を判定する演算判断回路と、異常前兆信号が演算判断回路から入力される制御装置を備え、異常前兆信号に応じて稼動停止信号又は警報が制御装置から発せられるワイヤーソー切断装置。

IPC (3件)：

B24B 27/06 ,  B28D 5/04 ,  H01L 21/304 611

FI (3件)：

B24B 27/06 R ,  B28D 5/04 C ,  H01L 21/304 611 W

Fターム (24件)：

3C058AA05 ,  3C058AA07 ,  3C058AA09 ,  3C058AA12 ,  3C058AA18 ,  3C058AC02 ,  3C058AC04 ,  3C058BA04 ,  3C058BA07 ,  3C058BA09 ,  3C058BB01 ,  3C058BB09 ,  3C058BC03 ,  3C058CA01 ,  3C058CB03 ,  3C058CB05 ,  3C058DA03 ,  3C069AA01 ,  3C069BA06 ,  3C069BB03 ,  3C069BC03 ,  3C069CA04 ,  3C069DA02 ,  3C069EA03

引用特許：

審査官引用 (5件)

• ワイヤソーのインターロック装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平8-039937   出願人：株式会社東京精密
• ワイヤソー
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平10-045968   出願人：株式会社日平トヤマ, 三益半導体工業株式会社
• ワイヤソーの張力付与機構
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平9-167308   出願人：株式会社日平トヤマ, 三益半導体工業株式会社
• ワイヤソーにおけるワイヤ張力制御装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平7-255311   出願人：トーヨーエイテック株式会社
• ワイヤソーの運転状況判別装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平7-328779   出願人：株式会社東京精密