有機EL発光素子の製造装置および方法

発明者： ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：石井陽一
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-044759
公開番号（公開出願番号）：特開平10-228981
出願日： 1997年02月13日
公開日（公表日）： 1998年08月25日
要約：

【要約】【課題】素子の有機構成膜にダメージを与えないで前記陰電極の製膜が可能で、陰電極等の薄膜界面での膜の密着性を改善し、素子の長寿命化が可能な薄膜を有する有機EL発光素子が製造可能な有機EL発光素子の製造装置および方法を提供する。【解決手段】有機EL発光素子の成膜領域である基板を載置する手段と、この基板の裏面側に配置されかつ基板上に基板面と平行な磁界を形成する磁界発生手段を有し、この磁界発生手段は、少なくとも基板の外縁に沿って基板上に飛来した電子を基板外部方向に排除する磁界を形成する有機EL発光素子の製造装置。

請求項（抜粋）：

有機EL発光素子の成膜領域である基板を載置する手段と、この基板の裏面側に配置されかつ基板上に基板面と平行な磁界を形成する磁界発生手段を有する有機EL発光素子の製造装置。

IPC (2件)：

H05B 33/10 , C23C 14/22

FI (2件)：

H05B 33/10 , C23C 14/22 Z

引用特許：

出願人引用 (7件)

電子ビーム蒸着器
公報種別：公開公報出願番号：特願平6-001529 出願人：三井東圧化学株式会社
特開平1-139762
電場発光表示装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平5-204911 出願人：株式会社日立製作所

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審査官引用 (10件)

電子ビーム蒸着器
公報種別：公開公報出願番号：特願平6-001529 出願人：三井東圧化学株式会社
特開平1-139762
特開平1-139762

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