特許
J-GLOBAL ID：200903010802885750

圧力センサ

発明者：
楠山 幸一

楠山 幸一 について

, 
塚田 正夫

塚田 正夫 について


出願人/特許権者：
株式会社ユニシアジェックス

株式会社ユニシアジェックス について


代理人 (1件)： 広瀬 和彦
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-120131
公開番号（公開出願番号）：特開平11-118642
出願日： 1998年04月14日
公開日（公表日）： 1999年04月30日
要約：
【要約】【課題】 撓み変形部分と撓み検出素子とを正確に位置合せし、高精度な圧力検出を行うと共に、圧力センサを微細化する。【解決手段】 シリコン基板11には受圧凹溝14によるダイヤフラム部15と検出用凹溝16とを設け、ダイヤフラム部15に薄肉部17と厚肉部18とを形成する。また、検出用凹溝16内にはピエゾ抵抗素子19を設けると共に、閉塞板24によって検出用凹溝16を閉塞する。そして、ダイヤフラム部15に圧力が作用すると、薄肉部17が撓み変形し、この撓み変形に応じてピエゾ抵抗素子19は圧力を検出する。
請求項（抜粋）：
シリコン材料からなる基板と、該基板の裏面側に受圧凹溝を形成することにより該基板に設けられたダイヤフラム部と、該ダイヤフラム部の位置で前記基板の表面側に設けられた検出用凹溝と、少なくとも該検出用凹溝内に設けられ前記ダイヤフラム部に生じる撓みを検出する撓み検出素子とから構成してなる圧力センサ。
IPC (2件)：
G01L 9/04 101 ,  H01L 29/84
FI (2件)：
G01L 9/04 101 ,  H01L 29/84 B
引用特許：
審査官引用 (6件)
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