X線検査装置

発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：西岡義明
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2000-147627
公開番号（公開出願番号）：特開2001-330567
出願日： 2000年05月19日
公開日（公表日）： 2001年11月30日
要約：

【要約】【課題】半田などの実装検査におけるX線検査において、検査者による作業負担を軽減し、或いは自動検査を実現する。【解決手段】傾動/回動機構を備えたX線検査装置において、各回動角度からの画像を列挙表示することにより、検査者による目視観察を容易かつ良好なものとする。また、画像処理により各回動画像におけるボール/ボイド面積比を算出し、これを利用した任意の条件により実装不具合を検出することができる。

請求項（抜粋）：

X線発生手段と、被検査物の直視方向に対して傾動/回動機構とを備えたX線カメラとからなるX線透視撮像手段と、前記傾動/回動機構により得られる複数方向からの透視像を同時観察可能に表示する表示手段を備えてなるX線検査装置。

Fターム (20件)：

2G001AA01 , 2G001BA11 , 2G001CA01 , 2G001DA01 , 2G001FA06 , 2G001GA06 , 2G001GA13 , 2G001HA01 , 2G001HA13 , 2G001JA01 , 2G001JA06 , 2G001JA08 , 2G001JA09 , 2G001JA11 , 2G001JA13 , 2G001KA03 , 2G001LA11 , 2G001MA05 , 2G001PA11 , 2G001PA12

引用特許：

審査官引用 (12件)

X線透過像検出によるはんだ付け検査方法とその装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平4-111337 出願人：株式会社日立製作所
特開平3-081606
特公平7-019289

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