特許

J-GLOBAL ID：200903010836453540

放射線像変換パネルの製造方法および製造装置

発明者： 細井 雄一 ,  荒川 哲
出願人/特許権者： 富士フイルム株式会社
代理人 (1件)： 柳川 泰男
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2005-255295
公開番号（公開出願番号）：特開2007-070646
出願日： 2005年09月02日
公開日（公表日）： 2007年03月22日
要約：

【課題】 蒸着効率が高く、かつ高感度であって高画質の放射線画像を与える放射線像変換パネルの製造方法を提供する。【解決手段】 蒸着装置内において、蓄積性蛍光体(或はその原料)を含む蒸発源を加熱し、発生する物質を蒸発源の上方に配置した基板上に蒸着堆積させることにより蛍光体層を形成することにより放射線像変換パネルを製造する方法において、加熱発生物質が蒸発源から該基板に至る空間から外に拡散するのを防ぐことのできる拡散防止壁部材を、該空間を囲むように配置し、そして拡散防止壁部材を基板の温度よりも高く、かつ蒸発源の温度よりも低い温度に維持しながら、0.1乃至10Paの範囲の真空度にて蒸着を行う方法。【選択図】 図1

請求項（抜粋）：

蒸着装置内において、蓄積性蛍光体もしくはその原料を含む蒸発源を加熱し、発生する物質を蒸発源の上方に配置した基板上に蒸着堆積させることにより蛍光体層を形成することにより放射線像変換パネルを製造する方法において、該加熱発生物質が該蒸発源から該基板に至る空間から外に拡散するのを防ぐことのできる拡散防止壁部材を、該空間を囲むように配置し、そして該拡散防止壁部材を基板の温度よりも高く、かつ該蒸発源の温度よりも低い温度に維持しながら、0.1乃至10Paの範囲の真空度にて蒸着を行うことを特徴とする放射線像変換パネルの製造方法。

IPC (8件)：

C23C 14/24 ,  G21K 4/00 ,  G03B 42/02 ,  C09K 11/00 ,  C09K 11/02 ,  C09K 11/61 ,  C23C 14/06 ,  C23C 14/26

FI (8件)：

C23C14/24 R ,  G21K4/00 L ,  G03B42/02 B ,  C09K11/00 B ,  C09K11/02 A ,  C09K11/61 ,  C23C14/06 L ,  C23C14/26 A

Fターム (77件)：

2G083AA03 ,  2G083BB01 ,  2G083CC02 ,  2G083CC10 ,  2G083DD02 ,  2G083DD11 ,  2G083DD14 ,  2G083DD16 ,  2G083EE02 ,  2G083EE03 ,  2G083EE10 ,  2H013AC01 ,  4H001CA04 ,  4H001CA08 ,  4H001XA03 ,  4H001XA04 ,  4H001XA09 ,  4H001XA11 ,  4H001XA12 ,  4H001XA13 ,  4H001XA17 ,  4H001XA19 ,  4H001XA20 ,  4H001XA21 ,  4H001XA28 ,  4H001XA29 ,  4H001XA30 ,  4H001XA31 ,  4H001XA35 ,  4H001XA37 ,  4H001XA38 ,  4H001XA39 ,  4H001XA48 ,  4H001XA49 ,  4H001XA53 ,  4H001XA55 ,  4H001XA56 ,  4H001XA57 ,  4H001XA58 ,  4H001XA59 ,  4H001XA60 ,  4H001XA61 ,  4H001XA62 ,  4H001XA63 ,  4H001XA64 ,  4H001XA65 ,  4H001XA66 ,  4H001XA67 ,  4H001XA68 ,  4H001XA69 ,  4H001XA70 ,  4H001XA71 ,  4H001YA12 ,  4H001YA29 ,  4H001YA39 ,  4H001YA58 ,  4H001YA59 ,  4H001YA60 ,  4H001YA62 ,  4H001YA63 ,  4H001YA64 ,  4H001YA65 ,  4H001YA66 ,  4H001YA67 ,  4H001YA68 ,  4H001YA69 ,  4H001YA70 ,  4H001YA71 ,  4H001YA83 ,  4K029BA41 ,  4K029BD00 ,  4K029CA01 ,  4K029DA08 ,  4K029DA10 ,  4K029DB18 ,  4K029EA03 ,  4K029EA08

引用特許：

出願人引用 (4件)

• 米国特許出願公開2001/0010831A1公報
  
• 放射線画像変換パネル及び放射線画像変換パネルの製造方法
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2002-248435   出願人：コニカミノルタホールディングス株式会社
• 放射線画像変換パネル及び放射線画像変換パネルの作製方法
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2003-047252   出願人：コニカミノルタホールディングス株式会社
• 蒸着装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平3-258684   出願人：コニカ株式会社