特許
J-GLOBAL ID：200903010878087446
マイクロポンプおよびマイクロポンプの製造方法
発明者：
,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
林 敬之助
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-053906
公開番号（公開出願番号）：特開平11-257232
出願日： 1998年03月05日
公開日（公表日）： 1999年09月21日
要約：
【要約】【課題】 双方向送液が可能でかつ耐背圧性の高い能動的バルブを有し、かつ圧電素子とシリコンダイアフラムのユニモルフ構造によって薄型化が可能であるマイクロポンプの実現を図ることにある。【解決手段】 流体が通過する貫通穴を有した天板部と、液体を押し出す働きをするポンピングダイアフラムおよび弁の開閉をおこなうバルブダイアフラムを有する基板部と、ダイアフラムと圧電素子のユニモルフアクチュエータによる駆動部によって構成され、パッキンを天板部または基板部と一体構造とすることによって高い密閉性を実現し、ポンピングダイアフラムとバルブダイアフラムを駆動することによって薄型で双方向送液が可能なマイクロポンプを実現する。
請求項（抜粋）：
流体が通過する貫通穴を有した天板部と、液体を押し出す働きをするポンピングダイアフラムおよび弁の開閉をおこなうパッキンと一体構造のバルブダイアフラムを有した基板部と、ダイアフラムと圧電素子のユニモルフアクチュエータによる駆動部によって構成されることを特徴としたマイクロポンプ。
IPC (2件)：
FI (2件)：
F04B 43/04 B
, F04B 43/02 B
