特許
J-GLOBAL ID：200903010924622092
放射線硬化性樹脂組成物
発明者：
,
出願人/特許権者：
代理人 (3件)：
鈴木 俊一郎
, 牧村 浩次
, 高畑 ちより
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2007-073412
公開番号（公開出願番号）：特開2008-233563
出願日： 2007年03月20日
公開日（公表日）： 2008年10月02日
要約：
【課題】ガラス基板やSiO2またはSiN等の絶縁膜を有する基板をウェットエッチング加工する際のレジスト膜の形成に好適な放射線硬化性樹脂組成物を提供すること。【解決手段】本発明に係る放射線硬化性樹脂組成物は、(A)アルカリ可溶性樹脂、(B)下記式(1)で示される化合物、(C)エチレン性不飽和二重結合を有する化合物(ただし、化合物(B)を除く)および(D)放射線ラジカル重合開始剤を含有する。〔nは2〜4の整数、R1は芳香族炭化水素基を1つ以上有するn価の有機基を表す。〕【選択図】なし
請求項（抜粋）：
(A)カルボキシル基を有するラジカル重合性化合物(a)に由来する構成単位と、フェノール性水酸基を有するラジカル重合性化合物(b1)または共重合体合成後にフェノール性水酸基に変換できる官能基を有するラジカル重合性化合物(b2)に由来するフェノール性水酸基を有する構成単位とを含有する共重合体(I)を含むアルカリ可溶性樹脂、
(B)下記式(1)で示される、エチレン性不飽和二重結合と芳香族骨格とを有する化合物、
(C)少なくとも1個のエチレン性不飽和二重結合を有する化合物(ただし、化合物(B)を除く)、および
(D)放射線ラジカル重合開始剤
を含有することを特徴とする放射線硬化性樹脂組成物。
IPC (5件)：
G03F 7/027
, C08F 2/44
, C08F 290/12
, G03F 7/033
, H01L 21/027
G03F7/027
, C08F2/44 C
, C08F290/12
, G03F7/033
, G03F7/027 502
, G03F7/027 515
, H01L21/30 502R
2H025AA04
, 2H025AA14
, 2H025AB16
, 2H025AB17
, 2H025AC01
, 2H025AD01
, 2H025BC14
, 2H025BC42
, 2H025BC47
, 2H025BC74
, 2H025CA00
, 2H025CB13
, 2H025CB14
, 2H025CB41
, 2H025CB43
, 2H025CB45
, 2H025FA17
, 2H025FA35
, 2H025FA40
, 2H025FA48
, 4J011AA05
, 4J011PA69
, 4J011PB40
, 4J011QA11
, 4J011SA00
, 4J011TA10
, 4J011UA01
, 4J011WA01
, 4J127AA03
, 4J127AA04
, 4J127AA06
, 4J127BB041
, 4J127BB042
, 4J127BB081
, 4J127BB112
, 4J127BB221
, 4J127BB222
, 4J127BC031
, 4J127BC052
, 4J127BC151
, 4J127BC152
, 4J127BD061
, 4J127BD142
, 4J127BE11X
, 4J127BE111
, 4J127BE21X
, 4J127BE211
, 4J127BE31Y
, 4J127BE311
, 4J127BE34X
, 4J127BE34Y
, 4J127BE341
, 4J127BE342
, 4J127BF13X
, 4J127BF132
, 4J127BF14X
, 4J127BF142
, 4J127BF35X
, 4J127BF352
, 4J127BG04X
, 4J127BG041
, 4J127BG05X
, 4J127BG051
, 4J127BG10Y
, 4J127BG101
, 4J127BG11X
, 4J127BG111
, 4J127BG16X
, 4J127BG161
, 4J127BG17X
, 4J127BG17Y
, 4J127BG171
, 4J127BG172
, 4J127BG18X
, 4J127BG182
, 4J127CA02
, 4J127CB152
, 4J127CB241
, 4J127CC022
, 4J127DA43
, 4J127DA61
, 4J127FA17
