特許

J-GLOBAL ID：200903077091269803

ガラスエッチング用放射線硬化性レジスト樹脂組成物およびこれを用いたガラス基板の製造方法

発明者： 森 康介 ,  横山 健一
出願人/特許権者： JSR株式会社
代理人 (4件)： 鈴木 俊一郎 ,  牧村 浩次 ,  高畑 ちより ,  鈴木 亨
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2006-256345
公開番号（公開出願番号）：特開2008-076768
出願日： 2006年09月21日
公開日（公表日）： 2008年04月03日
要約：

【課題】優れたアルカリ解像性、フッ酸耐性を有するとともに、ガラス基板との密着性にも優れるため、ガラス基板のエッチングの際にサイドエッチング量を抑制することができる、ガラスエッチング用放射線硬化性レジスト樹脂組成物を提供すること。【解決手段】本発明のガラスエッチング用放射線硬化性レジスト樹脂組成物は、(A)不飽和基含有アルカリ可溶性樹脂、(B)少なくとも1個のエチレン性不飽和二重結合を有する化合物、(C)感放射線性ラジカル重合開始剤および(D)シランカップリング剤を含有することを特徴とする。【選択図】なし

請求項（抜粋）：

(A)カルボキシル基を有するラジカル重合性化合物(a)に由来する構成単位を1〜40重量%、フェノール性水酸基を有するラジカル重合性化合物(b-1)または共重合体の重合後にフェノール性水酸基に変換できる官能基を有するラジカル重合性化合物(b-2)に由来するフェノール性水酸基を有する構成単位を1〜50重量%含有し、残分が前記化合物(a)、(b-1)、(b-2)および下記化合物(d)以外の他のラジカル重合性化合物(c)に由来する構成単位である共重合体100重量部に対し、(d)エポキシ基を有するラジカル重合性化合物0.1〜20重量部を反応せしめて得られる不飽和基含有アルカリ可溶性樹脂と、 (B)少なくとも1個のエチレン性不飽和二重結合を有する化合物と、 (C)感放射線性ラジカル重合開始剤 とを含有し、ガラスを所望のパターンにエッチングするための放射線硬化性樹脂組成物であって、 該放射線硬化性樹脂組成物が、(D)トリアルコキシシリル基を有するシランカップリング剤を含有することを特徴とする、ガラスエッチング用放射線硬化性樹脂組成物。

IPC (4件)：

G03F 7/038 ,  C08F 290/12 ,  G03F 7/027 ,  G03F 7/075

FI (4件)：

G03F7/038 501 ,  C08F290/12 ,  G03F7/027 502 ,  G03F7/075 501

Fターム (46件)：

2H025AB14 ,  2H025AB20 ,  2H025AC01 ,  2H025AD01 ,  2H025BC14 ,  2H025BC34 ,  2H025BC43 ,  2H025BC53 ,  2H025BC85 ,  2H025BC86 ,  2H025CA01 ,  2H025CC06 ,  2H025FA17 ,  2H025FA40 ,  4J127AA03 ,  4J127AA06 ,  4J127BB041 ,  4J127BB081 ,  4J127BB221 ,  4J127BC031 ,  4J127BC151 ,  4J127BD061 ,  4J127BE04X ,  4J127BE041 ,  4J127BE11X ,  4J127BE111 ,  4J127BE31Y ,  4J127BE311 ,  4J127BE34X ,  4J127BE341 ,  4J127BG04X ,  4J127BG041 ,  4J127BG05X ,  4J127BG051 ,  4J127BG10Y ,  4J127BG101 ,  4J127BG11X ,  4J127BG111 ,  4J127BG17X ,  4J127BG17Y ,  4J127BG171 ,  4J127CB011 ,  4J127CB152 ,  4J127CC022 ,  4J127DA28 ,  4J127FA17

引用特許：

出願人引用 (2件)

• 光硬化性レジスト樹脂組成物及びガラス基板の製造方法
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2003-402437   出願人：日本ペイント株式会社
• 感放射線性樹脂組成物
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2002-040301   出願人：ジェイエスアール株式会社