特許

J-GLOBAL ID：200903010941994653

光学的開口を持つ錐状突起の作製方法

発明者： 大海 学 ,  光岡 靖幸 ,  前田 英孝 ,  笠間 宣行 ,  加藤 健二 ,  新輪 隆 ,  篠原 陽子 ,  市原 進
出願人/特許権者： セイコーインスツルメンツ株式会社
代理人 (1件)： 坂上 正明
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2000-365592
公開番号（公開出願番号）：特開2002-168758
出願日： 2000年11月30日
公開日（公表日）： 2002年06月14日
要約：

【要約】【課題】 本発明の課題は、簡便な方法で均一な開口径を有する微小開口を形成する方法を提供することである。【解決手段】 誘電体突起1全体を遮光膜3で覆う工程と、誘電体突起1の近傍にこの誘電体突起とほぼ同じ高さを有する度当たり2を形成する工程と、略平面を有する押しこみ体6を用いて、誘電体突起1と度当たり2に対して同時に衝撃を与えることによって誘電体突起1の先端に光学的な開口を形成する工程とにより光学的開口を持つ錐状突起を作製する。

請求項（抜粋）：

先端以外の部分を十分な厚さを持つ遮光膜で覆われた光学的開口を持つ錐状突起の作製方法において、誘電体突起全体を前記遮光膜で覆う工程と、前記誘電体突起の近傍に前記誘電体突起とほぼ同じ高さを有する度当たりを形成する工程と、略平面を有する押しこみ体を用いて、前記誘電体突起と前記度当たりに対して同時に衝撃を与えることによって前記誘電体突起の先端に光学的な開口を形成する工程と、を含むことを特徴とする、光学的開口を持つ錐状突起の作製方法。

IPC (3件)：

G01N 13/14 ,  G01N 13/10 ,  G12B 21/06

FI (3件)：

G01N 13/14 B ,  G01N 13/10 G ,  G12B 1/00 601 C

引用特許：

審査官引用 (4件)

• 光学的な開口の作製方法
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2001-126415   出願人：セイコーインスツルメンツ株式会社
• 光プローブおよびその製造方法
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平10-087050   出願人：三菱電機株式会社
• 特公平5-021201
  
• 刻印装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平9-235002   出願人：株式会社三協精機製作所