特許
J-GLOBAL ID：200903011015869353
単結晶インゴット切断片の落下防止治具
発明者：
出願人/特許権者：
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平6-167420
公開番号（公開出願番号）：特開平8-001659
出願日： 1994年06月27日
公開日（公表日）： 1996年01月09日
要約：
【要約】【目的】 バンドソー切断機を用いて単結晶インゴットから任意の厚さのブロックまたはウェーハを切り出す場合に、切断片がコンベアから転がり落ちて欠損する不具合を回避することができるような、単結晶インゴット切断片の落下防止治具を提供する。【構成】 単結晶インゴット切断片の落下防止治具は、金属製の底板1a,2aにそれぞれゴム製の吸着パッド1,2を焼き付けて椀形に形成し、ネジ軸3を用いて背中合わせに連結し、ダブルナット4で固定したものである。吸着パッド1に単結晶インゴット6とほぼ同径のダミーブロック5を吸着した上、吸着パッド2を単結晶インゴット6の端面に押し付けて吸着させ、切断を行う。切断片はダミーブロック5とともにコンベア上を安定した状態で搬送され、コンベアから転がり落ちることはない。
請求項（抜粋）：
単結晶インゴットを切断し任意の所定長さ寸法のブロックにするとき、切断しようとする単結晶インゴットの端面に吸着させる吸着パッドと、前記単結晶インゴットとほぼ同径のダミーブロックに吸着させた吸着パッドとを、互いに背中合わせに取着したことを特徴とする単結晶インゴット切断片の落下防止治具。
IPC (3件)：
B28D 5/04
, B24B 27/06
, H01L 21/304 311
