特許
J-GLOBAL ID：200903011068530102
複合構造物作製装置
発明者：
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出願人/特許権者：
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2003-073442
公開番号（公開出願番号）：特開2004-277852
出願日： 2003年03月18日
公開日（公表日）： 2004年10月07日
要約：
【課題】長時間エアロゾルを発生させても、初期状態と同じ濃度でエアロゾルを発生させることを可能とし、且つエアロゾル濃度の濃淡を高度に且つ高速で調整可能とする。【解決手段】微粒子をガス中に分散したエアロゾルを発生するエアロゾル発生部5と、このエアロゾルを高速で基板へ向けて噴出するノズル10とを備え、エアロゾルを基板へ衝突させることで前記微粒子と基材とからなる複合構造物を作製する複合構造物作製装置であって、前記エアロゾル発生部5へ供給するメインガス流量を調整するメイン調整部2と、前記エアロゾル発生部5によって発生したエアロゾル濃度を読み取るセンサ7と、前記エアロゾル経路に補正ガスを供給するガス導入路と、このガス導入路を流れる補正ガス流量を調整する補正調整部3と、前記センサ7の検出値に基づいて、メイン調整部2と補正調整部3を制御する制御手段8と、を備えたことを特徴とする。【選択図】 図1
請求項（抜粋）：
微粒子をガス中に分散したエアロゾルを発生するエアロゾル発生部と、このエアロゾルを高速で基板へ向けて噴出するノズルとを備え、エアロゾルを基板へ衝突させることで前記微粒子と基材とからなる複合構造物を作製する複合構造物作製装置であって、前記エアロゾル発生部へ供給するメインガス流量を調整するメイン調整部と、前記エアロゾル発生部によって発生したエアロゾル濃度を読み取るセンサと、前記エアロゾル経路に補正ガスを供給するガス導入路と、このガス導入路を流れる補正ガス流量を調整する補正調整部と、前記センサの検出値に基づいて、メイン調整部と補正調整部を制御する制御手段と、を備えたことを特徴とする複合構造物作製装置。
IPC (3件)：
C23C14/24
, B05B15/00
, C23C24/04
C23C14/24 T
, B05B15/00
, C23C24/04
4D073AA01
, 4D073BB06
, 4D073CA04
, 4D073CA06
, 4D073CA18
, 4D073DA01
, 4D073DA03
, 4D073DA05
, 4K029AA04
, 4K029CA01
, 4K044AA13
, 4K044BA12
, 4K044CA23
