特許
J-GLOBAL ID：200903011081076593
マイクロミラーアクチュエータ及びその製造方法
発明者：
,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
小野 由己男 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2002-362976
公開番号（公開出願番号）：特開2003-248183
出願日： 2002年12月13日
公開日（公表日）： 2003年09月05日
要約：
【要約】【課題】 マイクロミラーの駆動角が精度良く調節可能に能動駆動し得るアクチュエータ及びその製造方法を提供する。【解決手段】 基板と、前記基板の所定位置に形成され、少なくとも一つ以上の電極が備えられたトレンチと、前記少なくとも一つ以上の電極との相互作用による静電力により回動して入射光を所定方向に反射させるマイクロミラーと、前記マイクロミラーの回動軸の位置が調節可能に前記マイクロミラーを支持する駆動角調節ユニットと、を備えることを特徴とするマイクロミラーアクチュエータ。よって、マイクロミラーの駆動角の誤差を補正するための別途のアクチュエータ無しにマイクロミラーを正確に直立させることにより、挿入損失を低減できる。
請求項（抜粋）：
基板と、前記基板の所定位置に形成され、少なくとも一つ以上の電極が備えられたトレンチと、前記少なくとも一つ以上の電極との相互作用による静電力により回転して入射光を所定方向に反射させるマイクロミラーと、前記マイクロミラーの回転軸の位置が調節可能に前記マイクロミラーを支持する駆動角調節ユニットと、を備えるマイクロミラーアクチュエータ。
IPC (3件)：
G02B 26/08
, B81B 3/00
, B81C 1/00
G02B 26/08 E
, B81B 3/00
, B81C 1/00
2H041AA14
, 2H041AA18
, 2H041AB14
, 2H041AC06
, 2H041AZ08
審査官引用 (2件)
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光偏向器
公報種別：公開公報
出願番号：特願平11-237769
出願人：日本ビクター株式会社
-
半導体装置等の表面を浄化し、処理する方法
公報種別：公開公報
出願番号：特願平8-137130
出願人：テキサスインスツルメンツインコーポレイテツド
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