無電極電界放電エキシマランプ装置

発明者：
出願人/特許権者：
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-304983
公開番号（公開出願番号）：特開2000-133209
出願日： 1998年10月27日
公開日（公表日）： 2000年05月12日
要約：

【要約】【課題】単位面積当たりの発光出力が大きく、又、高周波帯域での放電が可能で、時間的な光出力の変動がない一様な放電で、かつ長寿命な無電極エキシマランプ装置を提供する。【解決手段】放電ガスを充填した中空の放電容器と、該放電容器の内側と外側に対向して配置される外部電極と、該外部電極に高周波を印加して電界放電させる無電極エキシマランプにおいて、前記放電容器の外側にトリガー電源とトリガー電極とを具備し、前記高周波を1MHz〜100MHzの範囲で前記外部電極に印可して電界放電させることを特徴とする。

請求項（抜粋）：

放電ガスを充填した中空の放電容器と、該放電容器の内側と外側に対向して配置される外部電極と、該外部電極に高周波を印加して電界放電させる無電極電界放電エキシマランプにおいて、前記放電容器の外側にトリガー電源とトリガー電極とを具備し、前記高周波を1MHz〜100MHzの範囲で前記外部電極に印加して電界放電させることを特徴とする無電極電界放電エキシマランプ装置。

引用特許：

審査官引用 (9件)

誘電体バリア放電ランプ装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平6-185166 出願人：ウシオ電機株式会社
特開昭63-080463
照射装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平4-093993 出願人：アセアブラウンボヴエリアクチエンゲゼルシヤフト

全件表示

前のページに戻る