感光性樹脂組成物、これを用いた感光性エレメント、レジストパターンの製造法及びプリント配線板の製造法

発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：三好秀和 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2000-087083
公開番号（公開出願番号）：特開2001-174992
出願日： 2000年03月23日
公開日（公表日）： 2001年06月29日
要約：

【要約】 (修正有)【課題】感度、密着性、耐薬品性、柔軟性及びめっき浴汚染性が極めて優れる感光性樹脂組成物および該組成物を用いたプリント配線板の製造法を提供する。【解決手段】 (A)バインダーポリマー、(B)分子内に少なくとも1つの重合可能なエチレン性不飽和基を有する光重合性化合物並びに(C)光重合開始剤系として(C1)下記一般式(I)で表わされるクマリン系誘導体及び(C2)下記一般式(II)で表されるホウ素塩化合物を含有してなる感光性樹脂組成物、この感光性樹脂組成物を、支持体上に塗布、乾燥し場合によって保護フィルムを設けてなる感光性エレメント、及びこの感光性エレメントを、用いたことを特徴とするプリント配線板の製造法。(式中、Z1〜Z10各々独立にハロゲン原子、炭素数1〜20のアルキル基等を示し、mは0〜2の整数であり、nは0〜4の整数である)

請求項（抜粋）：

(A)バインダーポリマー、(B)分子内に少なくとも1つの重合可能なエチレン性不飽和基を有する光重合性化合物並びに(C)光重合開始剤系として(C1)一般式(I)【化1】(式中、Z1及びZ2は各々独立にハロゲン原子、炭素数1〜20のアルキル基、炭素数3〜10のシクロアルキル基、炭素数6〜14のアリール基、アミノ基、炭素数1〜10のアルキルアミノ基、炭素数2〜20のジアルキルアミノ基、メルカプト基、炭素数1〜10のアルキルメルカプト基、アリル基、炭素数1〜20のヒドロキシアルキル基、カルボキシル基、アルキル基の炭素数が1〜10のカルボキシアルキル基、アルキル基の炭素数が1〜10のアシル基、炭素数1〜20のアルコキシ基、炭素数1〜20のアルコキシカルボニル基又は複素環を含む基を示し、また、Z1とZ2とが環を形成していてもよく、複数個のZ1又は複数個のZ2が結合して環を形成していてもよく、mは0〜2の整数であり、nは0〜4の整数である)で表わされるクマリン系誘導体及び(C2)一般式(II)【化2】(式中、Z3、Z4、Z5、Z6、Z7、Z8、Z9及びZ10は、各々独立に前記一般式(I)におけるZ1と同意義である)で表されるホウ素塩化合物を含有してなる感光性樹脂組成物。

IPC (6件)：

G03F 7/028 , G03F 7/004 512 , G03F 7/029 , G03F 7/033 , G03F 7/40 521 , H05K 3/28

FI (6件)：

G03F 7/028 , G03F 7/004 512 , G03F 7/029 , G03F 7/033 , G03F 7/40 521 , H05K 3/28 D

Fターム (34件)：

2H025AA01 , 2H025AA02 , 2H025AA06 , 2H025AA14 , 2H025AB11 , 2H025AB15 , 2H025AC01 , 2H025AD01 , 2H025BC13 , 2H025BC42 , 2H025BC83 , 2H025CA20 , 2H025CA27 , 2H025CA28 , 2H025CA39 , 2H025CA48 , 2H025CB16 , 2H025CB43 , 2H025CB55 , 2H025DA01 , 2H025EA08 , 2H025FA17 , 2H025FA40 , 2H025FA41 , 2H025FA43 , 2H096AA26 , 2H096BA05 , 2H096BA20 , 2H096CA16 , 2H096GA08 , 2H096HA11 , 2H096HA27 , 5E314AA27 , 5E314GG24

引用特許：

審査官引用 (11件)

光重合性組成物及びそれを用いた画像形成方法
公報種別：公開公報出願番号：特願平8-099461 出願人：コニカ株式会社
光重合性組成物及びドライフィルムレジスト
公報種別：公開公報出願番号：特願平10-170073 出願人：昭和電工株式会社
特開平1-138204

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