特許
J-GLOBAL ID:200903011122678820
産業用機器の遠隔保守システム及びこれを利用した生産方法
発明者:
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出願人/特許権者:
代理人 (1件):
丸島 儀一
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願平8-251623
公開番号(公開出願番号):特開平10-097966
出願日: 1996年09月24日
公開日(公表日): 1998年04月14日
要約:
【要約】【課題】 遠隔地の機器であっても地域を問わず迅速且つ確実な保守を可能とする産業用機器の遠隔保守システムを提供すること。【解決手段】 それぞれが半導体製造装置などの産業用機器を備えた複数の工場と、ホスト管理システムとを通信手段で接続して、該通信手段を介して各工場の産業用機器をベンダーの管理システムで遠隔管理することを特徴とする産業用機器の遠隔保守システムであって、通信手段はインターネットを利用したものである。
請求項(抜粋):
インターネットを利用して遠隔地の産業用機器の保守情報を通信することを特徴とする産業用機器の遠隔保守システム。
IPC (5件):
H01L 21/02
, H04L 12/46
, H04L 12/28
, H04Q 9/00 311
, H04Q 9/00 321
FI (4件):
H01L 21/02 Z
, H04Q 9/00 311 Z
, H04Q 9/00 321 Z
, H04L 11/00 310 C
引用特許:
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