特許

J-GLOBAL ID：200903011143385806

磁気形結像エネルギフィルタを有する電子顕微鏡

発明者： ディーター クラール ,  シュテファン クヤヴァ
出願人/特許権者： エルエーオー エレクトローネンミクロスコーピー ゲゼルシャフト ミット ベシュレンクテル ハフツング
代理人 (1件)： 矢野 敏雄 (外3名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-182405
公開番号（公開出願番号）：特開2000-030645
出願日： 1999年06月28日
公開日（公表日）： 2000年01月28日
要約：

【要約】【課題】 エネルギフィルタリングされた対象物像又は回析像を検出器平面内に結像するのに適しているのみならず、エネルギスペクトルのパラレルレジストレーション位置合せのため検出器平面内へ分散平面を結像するのにも適する磁気形結像エネルギフィルタを有する電子顕微鏡を提供すること。【解決手段】 磁気形結像エネルギフィルタを有する電子顕微鏡において、前記エネルギフィルタは、1つの中心平面(M)に対して対称的に配置された方向変換系(11-14)を有し、方向変換系と、ビーム方向でエネルギフィルタに後続する投影系との間に設けられたヘクサポール(Hexapol) を有すること。

請求項（抜粋）：

磁気形結像エネルギフィルタを有する電子顕微鏡において、前記エネルギフィルタは、1つの中心平面(M)に対して対称的に配置された方向変換系(11-14)を有し、方向変換系(11-14)と、ビーム方向でエネルギフィルタに後続する投影系(17,18)との間に設けられたヘクサポール(Hexapol)(S2〜S6)を有し、前記投影系により選択的にフィルタの分散平面(DA)又はアクロマチック像平面(BA)が検出器平面(19)内に結像可能でありここで、分散平面(DA)の結像とアクロマチック像平面(BA)の結像との切換えの場合ヘクサポール(Hexapol)(S2,S4,S6)の励磁の切換が行われるように構成されていることを特徴とする磁気形結像エネルギフィルタを有する電子顕微鏡。

IPC (2件)：

H01J 37/05 ,  H01J 49/46

FI (2件)：

H01J 37/05 ,  H01J 49/46

引用特許：

審査官引用 (2件)

• 結像用の電子エネルギーフィルタ
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平6-057386   出願人：カール-ツアイス-スチフツング
• 粒子光学機械
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平6-108299   出願人：フィリップスエレクトロニクスネムローゼフェンノートシャップ