特許

J-GLOBAL ID：200903011155975420

カロリーメーターとその製造方法

発明者： 田中 啓一 ,  師岡 利光
出願人/特許権者： セイコーインスツルメンツ株式会社
代理人 (1件)： 林 敬之助
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2000-393134
公開番号（公開出願番号）：特開2001-264441
出願日： 2000年12月25日
公開日（公表日）： 2001年09月26日
要約：

【要約】【課題】 一つの基板内に複数個カロリーメーターを配置するときに、機械的な強度の点で優れているカロリーメーターとその製造方法を得ること。【解決手段】 放射線のエネルギーを熱に変換する吸収体6と、超伝導転移を利用して熱を電気信号に変換する抵抗体5が、熱伝導率を決定するメンブレン4上に配置されており、メンブレン4が基板8に取り付けられているカロリーメーター1において、基板8がエッチング層2とエッチング停止層9と支持基板10の3層構造からなっており、メンブレン4がエッチング停止層9とエッチング層2の厚み分だけ隔てて配置されるカロリーメーター1とする。

請求項（抜粋）：

放射線のエネルギーを熱に変換する吸収体と、超伝導転移を利用して熱を電気信号に変換する抵抗体が、熱伝導率を決定するメンブレン上に配置されており、前記メンブレンが基板に取り付けられているカロリーメーターにおいて、前記基板がエッチング層とエッチング停止層と支持基板の3層構造からなっており、前記メンブレンがエッチング停止層とエッチング層の厚み分だけ隔てて配置されることを特徴とするカロリーメーター。

IPC (4件)：

G01T 1/12 ZAA ,  H01L 37/00 ZAA ,  H01L 39/00 ZAA ,  C23F 1/00

FI (4件)：

G01T 1/12 ZAA ,  H01L 37/00 ZAA ,  H01L 39/00 ZAA Z ,  C23F 1/00 Z

引用特許：

審査官引用 (4件)

• 特開平2-205729
  
• 半導体装置および半導体装置の製造方法
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平9-335861   出願人：日産自動車株式会社
• 特開昭63-243817
  
• 焦電型赤外線センサとその製造方法
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平5-037578   出願人：日本セラミック株式会社

引用文献：

審査官引用 (1件)

• 浮辺雅宏、外11名