特許
J-GLOBAL ID:200903011186720757
窒化物半導体発光素子
発明者:
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出願人/特許権者:
代理人 (3件):
三好 秀和
, 伊藤 正和
, 原 裕子
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願2006-226716
公開番号(公開出願番号):特開2007-059913
出願日: 2006年08月23日
公開日(公表日): 2007年03月08日
要約:
【課題】動作電圧が低く静電気耐性が高い高出力高効率の窒化物半導体発光素子を提供する。【解決手段】本発明による窒化物半導体発光素子は、基板上に形成されたn側コンタクト層と、上記n側コンタクト層上に形成された電流拡散層と、上記電流拡散層上に形成された活性層と、上記活性層上に形成されたp型クラッド層を含む。上記電流拡散層は、InxGa(1-x)N(0<x<1)からなる第1窒化物半導体層とInyGa(1-y)N(0≦y<1、y<x)からなる第2窒化物半導体層が相互交代で積層され形成された全体3層以上の多層薄膜層からなっている。また、上記多層薄膜層のうち一部連続して積層された窒化物半導体層はn型ドーパントにドーピングされており、上記多層薄膜層のうち他の一部はドーピングされていないアンドープ窒化物半導体からなっている。【選択図】図2
請求項(抜粋):
基板上に形成されたn側コンタクト層と、
上記n側コンタクト層上に形成された電流拡散層と、
上記電流拡散層上に形成された活性層と、
上記活性層上に形成されたp型クラッド層を含み、
上記電流拡散層は、InxGa(1-x)N(0<x<1)からなる第1窒化物半導体層とInyGa(1-y)N(0≦y<1、y<x)からなる第2窒化物半導体層が相互交代で積層され形成された全体3層以上の多層薄膜層からなり、
上記多層薄膜層のうち一部連続して積層された窒化物半導体層はn型ドーパントにドーピングされ、上記多層薄膜層のうち他の一部はドーピングされていないアンドープ窒化物半導体からなることを特徴とする窒化物半導体発光素子。
IPC (2件):
FI (2件):
H01L33/00 C
, H01S5/343 610
Fターム (8件):
5F041AA21
, 5F041CA05
, 5F041CA40
, 5F041CA46
, 5F173AG20
, 5F173AH22
, 5F173AH44
, 5F173AR61
引用特許:
出願人引用 (2件)
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特公平10-135514号公報
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米国特許第6,593,597号
審査官引用 (4件)