特許
J-GLOBAL ID：200903011197793110

粒子放射装置

発明者：
ヘルムート・ミューラー

ヘルムート・ミューラー について


出願人/特許権者：
カール・ツアイス・エヌティエス・ゲーエムベーハー

カール・ツアイス・エヌティエス・ゲーエムベーハー について


代理人 (2件)： 山川 政樹 ,  山川 茂樹
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2004-276741
公開番号（公開出願番号）：特開2005-100988
出願日： 2004年09月24日
公開日（公表日）： 2005年04月14日
要約：
【課題】粒子放射装置の熱伝導体の冷却時に発生するその熱伝導体の収縮、或いは、熱伝動体の加熱時に発生するその熱伝導体の膨張を低減させる。【解決手段】本発明は、冷却される汚染防止部(18)および/または冷却される試料ホルダ(17)を備えている。一方で汚染防止部(18)および/または試料ホルダ(17)を連結させるため、熱伝導体(19)は低温容器(20)の冷却器(21)を設ける。熱伝導体(19)は炭素繊維束を有している。炭素繊維束(19)により、冷却器(21)と被冷却面(17,18)との間で高い熱伝導が保証される。同時に、汚染防止部および/または試料ホルダ(17)を変位させる熱膨張が回避される。【選択図】図1
請求項（抜粋）：
粒子線を合焦または結像させる対物レンズと、試料を対物レンズ内または対物レンズ付近で受容する試料ホルダと、冷却器と、熱伝導体(19)とを備え、その熱伝導体が、熱を試料ホルダ(17)から冷却器(21)へ、または試料ホルダ(17)の付近に配置される冷却面(18)から冷却器(21)へ逃がすために用いられ、且つ熱伝導体(19)が炭素繊維(24)を含んでいる粒子放射装置。
IPC (1件)：
H01J37/20
FI (2件)：
H01J37/20 E ,  H01J37/20 G
Fターム (4件)：
5C001BB02 ,  5C001CC03 ,  5C001CC04 ,  5C001DD01
引用特許：
出願人引用 (4件)
  • 米国特許第4179605号明細書
  • 米国特許第4833330号明細書
  • 国際公開第83/03707号パンフレット
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審査官引用 (4件)
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