特許
J-GLOBAL ID：200903011231480444

ITOスパッタリングターゲット用バッキングプレート

発明者：
小林 茂

小林 茂 について

, 
瀬戸 康博

瀬戸 康博 について


出願人/特許権者：
三井金属鉱業株式会社

三井金属鉱業株式会社 について


代理人 (1件)： 佐藤 孝夫
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-105083
公開番号（公開出願番号）：特開平6-293963
出願日： 1993年04月07日
公開日（公表日）： 1994年10月21日
要約：
【要約】【構成】 ITOスパッタリングターゲットを用いてスパッタリングする際に使用されるバッキングプレートであって、その材質がTiからなることを特徴とする。【効果】 ITO焼結体ターゲットとバッキングプレートとの熱膨張率の差を少くし、低融点半田を用いて接合する際における平板状ターゲットの場合のターゲットの反り、円筒形状のターゲットの場合のターゲットの割れクラックを生じない、ITO焼結体ターゲットに適合したバッキングプレートを提供する。
請求項（抜粋）：
ITOスパッタリングターゲットを用いてスパッタリングする際に使用されるバッキングプレートであって、その材質がTiからなることを特徴とするITOスパッタリングターゲット用バッキングプレート。
引用特許：
審査官引用 (4件)
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