特許
J-GLOBAL ID：200903011238975350

薄膜トランジスタ並びにこれを用いた液晶表示装置及びエレクトロルミネッセンス表示装置

発明者：
北村 一樹

北村 一樹 について

, 
河北 哲郎

河北 哲郎 について

, 
佐野 浩

佐野 浩 について


出願人/特許権者：
松下電器産業株式会社

松下電器産業株式会社 について


代理人 (1件)： 角田 嘉宏 (外5名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2001-258016
公開番号（公開出願番号）：特開2002-176061
出願日： 2001年08月28日
公開日（公表日）： 2002年06月21日
要約：
【要約】【課題】 オン電流を向上することが可能な薄膜トランジスタを提供する。【解決手段】 基板11と、基板11上に形成されたアンダーコート絶縁膜12と、アンダーコート絶縁膜12上にそれぞれ形成された、ソース領域32、チャネル領域61、及びドレイン領域33を有するシリコンを主成分とする半導体膜14と、半導体膜のチャネル領域61に隣接するゲート絶縁膜16と、ゲート絶縁膜16に隣接する膜状のゲート電極31とを備えた薄膜トランジスタ1において、ゲート電極31及びゲート絶縁膜16の各内部応力の和が引張性であるものである。
請求項（抜粋）：
基板と、該基板上に形成されたアンダーコート絶縁膜と、該アンダーコート絶縁膜上にそれぞれ形成された、ソース領域、チャネル領域、及びドレイン領域を有するシリコンを主成分とする半導体膜と、該半導体膜の上記チャネル領域に隣接するゲート絶縁膜と、該ゲート絶縁膜に隣接する膜状のゲート電極とを備えた薄膜トランジスタにおいて、上記ゲート電極及び上記ゲート絶縁膜の各内部応力の和が引張性であることを特徴とする薄膜トランジスタ。
IPC (11件)：
H01L 21/336 ,  G02F 1/1368 ,  G09F 9/30 330 ,  G09F 9/30 338 ,  G09F 9/30 348 ,  G09F 9/30 365 ,  G09F 9/35 ,  H01L 21/20 ,  H01L 29/43 ,  H01L 29/786 ,  H05B 33/08
FI (15件)：
G02F 1/1368 ,  G09F 9/30 330 Z ,  G09F 9/30 338 ,  G09F 9/30 348 A ,  G09F 9/30 365 Z ,  G09F 9/35 ,  H01L 21/20 ,  H05B 33/08 ,  H01L 29/78 618 Z ,  H01L 29/78 617 T ,  H01L 29/78 617 M ,  H01L 29/78 626 C ,  H01L 29/78 616 V ,  H01L 29/78 627 G ,  H01L 29/62 G
Fターム (109件)：
2H092JA26 ,  2H092JA34 ,  2H092KA04 ,  2H092MA08 ,  2H092MA30 ,  2H092NA26 ,  3K007AB05 ,  3K007BA06 ,  3K007BB07 ,  3K007CA03 ,  3K007EB00 ,  3K007EC00 ,  3K007GA00 ,  4M104AA01 ,  4M104AA08 ,  4M104AA09 ,  4M104BB01 ,  4M104BB02 ,  4M104BB13 ,  4M104BB14 ,  4M104BB16 ,  4M104BB17 ,  4M104BB18 ,  4M104BB39 ,  4M104CC01 ,  4M104CC05 ,  4M104DD02 ,  4M104DD15 ,  4M104DD16 ,  4M104DD17 ,  4M104DD37 ,  4M104DD63 ,  4M104DD80 ,  4M104DD81 ,  4M104EE03 ,  4M104EE05 ,  4M104EE12 ,  4M104EE16 ,  4M104EE17 ,  4M104GG09 ,  4M104HH20 ,  5C094AA13 ,  5C094AA21 ,  5C094BA03 ,  5C094BA27 ,  5C094BA43 ,  5C094CA19 ,  5C094DA15 ,  5C094EA04 ,  5C094EA07 ,  5C094FB05 ,  5C094FB14 ,  5F052AA02 ,  5F052BB07 ,  5F052DA02 ,  5F052DB03 ,  5F052EA11 ,  5F052JA01 ,  5F052KA01 ,  5F110AA07 ,  5F110AA09 ,  5F110AA17 ,  5F110BB02 ,  5F110CC02 ,  5F110DD01 ,  5F110DD02 ,  5F110DD03 ,  5F110DD05 ,  5F110DD13 ,  5F110DD14 ,  5F110EE03 ,  5F110EE04 ,  5F110EE06 ,  5F110EE07 ,  5F110EE08 ,  5F110EE09 ,  5F110EE11 ,  5F110FF02 ,  5F110FF03 ,  5F110FF05 ,  5F110FF23 ,  5F110FF28 ,  5F110FF30 ,  5F110FF32 ,  5F110GG01 ,  5F110GG02 ,  5F110GG13 ,  5F110GG25 ,  5F110GG43 ,  5F110GG45 ,  5F110GG47 ,  5F110HJ01 ,  5F110HJ18 ,  5F110HJ23 ,  5F110HL03 ,  5F110HL04 ,  5F110HL06 ,  5F110HL07 ,  5F110HL08 ,  5F110HM15 ,  5F110NN02 ,  5F110NN03 ,  5F110NN05 ,  5F110NN22 ,  5F110NN23 ,  5F110NN24 ,  5F110NN35 ,  5F110PP03 ,  5F110PP05
引用特許：
審査官引用 (2件)

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