対向ターゲット式スパッタ装置

発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：尾身祐助
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2001-352606
公開番号（公開出願番号）：特開2003-155564
出願日： 2001年11月19日
公開日（公表日）： 2003年05月30日
要約：

【要約】【課題】基板の幅方向(図の手前側から奥行き方向)の成膜の膜厚を一定化する。【解決手段】所定の間隔を隔ててターゲット100a、ターゲット100b(図示なし)を対向配置し、各ターゲットの外周に沿って永久磁石130aからなる磁界発生手段を設けて該ターゲット間の対向空間を囲むターゲット110aに垂直な対向モードの磁界と該ターゲットの外周の前方近傍から中心寄りの表面に至るマグネトロンモードの磁界を形成した対向ターゲット部を備え、該対向空間内にプラズマを生成し、該対向空間の側方に配置した基板上に薄膜を形成するようにした対向ターゲット式スパッタ装置において、マグネトロンモードの磁界を調整する磁界調整手段としての永久磁石180aをその磁路中に設ける。

請求項（抜粋）：

所定の間隔を隔てて一対のターゲットを対向配置し、該ターゲットの外周に沿って永久磁石からなる磁界発生手段を設けて該ターゲット間の対向空間を囲むターゲットに垂直な対向モードの磁界と該ターゲットの外周の前方近傍から中心部寄りの表面に至るマグネトロンモードの磁界を形成し、両磁界によりプラズマを拘束するスパッタ部を備え、該対向空間内にプラズマを生成し、該対向空間の側方に配置した基板上に薄膜を形成するようにした対向ターゲット式スパッタ装置において、前面にターゲットが取着される熱良導体からなるバッキング部と、前面に該バッキング部を収容する凹部を形成すると共に凹部の周壁に磁界発生手段の永久磁石の収納部を形成した熱良導材からなる一体物の支持体部を備え、該バッキング部の内部に配管接続口を除いて密閉された冷却ジャケットを設けると共にバッキング部を支持体部の凹部にその後面が直接接触するように取着したことを特徴とする対向ターゲット式スパッタ装置。

IPC (2件)：

C23C 14/34 , C23C 14/35

FI (3件)：

C23C 14/34 D , C23C 14/34 C , C23C 14/35 C

Fターム (7件)：

4K029BA08 , 4K029BA10 , 4K029CA05 , 4K029DC03 , 4K029DC25 , 4K029DC32 , 4K029DC40

引用特許：

審査官引用 (5件)

特開昭63-270461
特開平4-365861
特開平1-298154

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