特許

J-GLOBAL ID：200903011281554120

平面型磁気素子

発明者： 中澤 治雄 ,  江戸 雅晴
出願人/特許権者： 富士電機株式会社
代理人 (1件)： 山口 巖 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-113475
公開番号（公開出願番号）：特開2000-306730
出願日： 1999年04月21日
公開日（公表日）： 2000年11月02日
要約：

【要約】【課題】 平面型磁気素子における基板の反りを簡単に抑制できるようにする。【解決手段】 基板5に平面コイル3、絶縁膜2および平面コイル3を挟み込む磁性体薄膜1,4を積層して構成される平面型磁気素子において、基板5に対する応力の方向が異なる薄膜6を基板裏面に設けることで、基板の持つ引っ張り応力をキャンセルし得るようにする。これにより、サイズの大きな基板でも生産性を上げることができる。

請求項（抜粋）：

基板上に、スパイラル平面コイル、絶縁体および前記スパイラル平面コイルを挟み込む軟磁性体薄膜を積層して構成される平面型磁気素子において、前記基板に対する応力の方向が逆方向の薄膜を基板裏面に設けることを特徴とする平面型磁気素子。

IPC (4件)：

H01F 17/00 ,  H01L 27/04 ,  H01L 21/822 ,  H05K 1/16

FI (3件)：

H01F 17/00 B ,  H05K 1/16 B ,  H01L 27/04 L

Fターム (18件)：

4E351AA04 ,  4E351AA06 ,  4E351BB11 ,  4E351BB15 ,  4E351BB33 ,  4E351CC03 ,  4E351DD04 ,  4E351DD20 ,  4E351GG03 ,  5E070AA01 ,  5E070AB10 ,  5E070BA20 ,  5E070CB12 ,  5E070CB20 ,  5F038AZ04 ,  5F038CA02 ,  5F038EZ14 ,  5F038EZ20

引用特許：

審査官引用 (4件)

• 平面型磁気素子
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平4-188325   出願人：株式会社東芝
• 特開平4-223307
  
• 平面インダクタおよび平面インダクタの製造方法
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平7-335470   出願人：株式会社東芝
• 特開平4-223307