センサユニット

発明者： , ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：渡邉一平
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-086357
公開番号（公開出願番号）：特開平10-282135
出願日： 1997年04月04日
公開日（公表日）： 1998年10月23日
要約：

【要約】 (修正有)【課題】センサの検出限界を維持しつつ、更にその検出精度を向上したセンサユニットを提供する。【解決手段】作用体36と、作用体36を中心として周設された、中空部を有する支台70と、1組の電極に接する圧電体40を有し、かつ、支台70の中空部の中心に作用体36を釣支するように支台70に横架された可撓板33により構成された、物理量の方向及び大きさを三次元的に検知する三軸センサ30を、一平面上に3基配設したセンサユニットである。3基の三軸センサ30、31、32を3次元座標系のX、Y、Z各軸に割り当て、外部から作用する物理量をX、Y、Z各軸方向の成分ごとに独立に検出する。X、Y各軸に割り当てられた三軸センサ30、31において、可撓板33、34の、三軸センサ30、31に各々割り当てられたX、Yいずれかの軸を挟んで対向する位置に、曲げ剛性が他の部分より高い部位44、45を形成する。

請求項（抜粋）：

作用体と、当該作用体を中心として周設された、中空部を有する支台と、少なくとも1組の電極に接する圧電体を有し、かつ、前記支台の中空部の中心に前記作用体を釣支するように前記支台に横架された可撓板により構成され、外部から作用する物理量を、当該物理量に対応して生ずる前記作用体の挙動に基づく前記可撓板の撓みに変換し、当該可撓板の撓みに応じて前記圧電体から発生する電荷により、前記物理量の方向及び大きさを三次元的に検知する三軸センサにおいて、当該三軸センサを一平面上に少なくとも3基配設したセンサユニットを構成し、前記可撓板の前記作用体が釣支されている中心点を原点Oとし、当該原点Oを含み可撓板に平行な平面をX-Y平面としたX-Y-Zの3次元座標系を規定した場合において、前記3基の三軸センサを当該3次元座標系のX、Y、Z各軸に割り当て、外部から作用する物理量をX、Y、Z各軸方向の成分ごとに独立に検出することにより前記物理量の方向及び大きさを三次元的に検知することを特徴とするセンサユニット。

IPC (2件)：

G01P 15/09 , G01L 5/16

FI (2件)：

G01P 15/09 , G01L 5/16

引用特許：

審査官引用 (5件)

特開平4-279867
加速度センサ
公報種別：公開公報出願番号：特願平5-284085 出願人：キヤノン株式会社
加速度検出素子
公報種別：公開公報出願番号：特願平7-258141 出願人：株式会社村田製作所

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