特許
J-GLOBAL ID：200903011334599180
テープ貼付装置及び貼付方法
発明者：
,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
中井 潤
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2003-362967
公開番号（公開出願番号）：特開2005-129678
出願日： 2003年10月23日
公開日（公表日）： 2005年05月19日
要約：
【課題】 ウェハーとダイシング用テープ等の間に空気が残留せず、薄いウェハー等の板状物であっても反りを発生させずにダイシング用テープ等を貼り付け、半導体等の生産性を高める。【解決手段】 板状物4とテープ5とを保持する真空室8、9と、テープの板状物と対向する面の反対側の面を板状物側へ押圧する第1の弾性体6と、板状物のテープと対向する面の反対側の面をテープ側へ押圧する第2の弾性体18とを備えるテープ貼付装置。前記弾性体は、シート状に形成され、第1及び第2のシート状弾性体の各々が、第1及び第2のシート状弾性体の各々を挟む両側の空間1、8及び空間9、13の圧力差によって移動することにより、テープまたは板状物を押圧するように構成することができる。第2のシート状弾性体に、板状物の該第2のシート状弾性体に当接する面上の移動を規制する規制手段19を設けることが好ましい。【選択図】 図1
請求項（抜粋）：
板状物にテープを貼り付けるためのテープ貼付装置であって、
板状物とテープとを保持する真空室と、
前記テープの前記板状物と対向する面の反対側の面を前記板状物側へ押圧する第1の弾性体と、
前記板状物の前記テープと対向する面の反対側の面を前記テープ側へ押圧する第2の弾性体とを備えることを特徴とするテープ貼付装置。
IPC (3件)：
H01L21/68
, C09J5/00
, H01L21/301
H01L21/68 N
, C09J5/00
, H01L21/78 M
4J040MB05
, 4J040NA20
, 4J040PB09
, 4J040PB10
, 4J040PB11
, 4J040PB17
, 5F031CA02
, 5F031HA13
, 5F031HA58
, 5F031MA34
