特許

J-GLOBAL ID：200903011374259188

縦型熱処理炉内への薄板状被処理物の搬入出装置およびこれを用いた薄板状被処理物の搬入出方法

発明者： 辻 荘平
出願人/特許権者： 光洋リンドバーグ株式会社
代理人 (1件)： 岸本 瑛之助 (外3名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-323672
公開番号（公開出願番号）：特開平10-163297
出願日： 1996年12月04日
公開日（公表日）： 1998年06月19日
要約：

【要約】【課題】 スループットを向上させる。被処理物の支持および温度分布の均一性を優れたものにする。【解決手段】 キャリヤ1とボート2と半導体ウェハ移載手段3とを備えている。移載手段3は、半導体ウェハ載置フィンガ8およびこれよりも下方に位置する半導体ウェハ持上げフィンガ9からなり、かつ両フィンガ8、9間にボート2の支持リング6が入り込むようになされた対を備えている。両フィンガ8、9は水平移動自在である。持上げフィンガ9は、上下方向に伸縮自在の半導体ウェハ持上げ部材13を有している。載置フィンガ8がボートの支持リング6の上方に、持上げフィンガ9が同支持リング6の下方にそれぞれ位置した状態で、持上げ部材13は支持リング6および載置フィンガ8と干渉しない。上記状態で、持上げ部材13の伸長時にはその上端が載置フィンガ8よりも上方に来、収縮時にはその上端が支持リング6の下方に来る。

請求項（抜粋）：

複数の薄板状被処理物を保持するキャリアと、複数の被処理物を保持しうるとともに上下動自在であり、かつ上昇時に縦型熱処理炉内に挿入されるボートと、キャリアとボートとの間で被処理物を移載する被処理物移載手段とを備えた縦型熱処理炉内への薄板状被処理物の搬入出装置であって、ボートが、基台と、基台上に立設された3つ以上の支柱と、上下方向に間隔をおいて支柱に取付けられかつ被処理物を支持する複数の支持リングとを備えており、隣り合う2つの支柱からなる全ての組により形成される間隔のうちの1つの間隔が被処理物よりも大とされて被処理物通過空間となされるとともにこの被処理物通過空間を通して被処理物が移載手段と支持リングとの間で載せ換えられるようになされており、被処理物移載手段が、被処理物載置フィンガおよびこれよりも下方に位置する被処理物持上げフィンガからなり、かつ両フィンガ間にボートの支持リングが入り込むようになされた対を備えており、両フィンガが水平移動自在であり、被処理物持上げフィンガが、上下方向に伸縮自在の被処理物持上げ部材を有しており、被処理物載置フィンガがボートの支持リングの上方に、被処理物持上げフィンガが同支持リングの下方にそれぞれ位置した状態で、被処理物持上げ部材が支持リングおよび被処理物載置フィンガと干渉しないようになされ、同じく上記状態で、被処理物持上げ部材が伸長するとその上端が被処理物載置フィンガよりも上方に来るとともに、収縮するとその上端が支持リングの下方に来るようになされている縦型熱処理炉内への薄板状被処理物の搬入出装置。

IPC (5件)：

H01L 21/68 ,  B65G 49/07 ,  H01L 21/205 ,  H01L 21/22 511 ,  H01L 21/31

FI (5件)：

H01L 21/68 D ,  B65G 49/07 C ,  H01L 21/205 ,  H01L 21/22 511 J ,  H01L 21/31 E

引用特許：

審査官引用 (4件)

• 特開平2-112255
  
• 移載装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平5-085754   出願人：東京エレクトロン東北株式会社
• 基板搬送装置及び基板搬送方法
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平7-125718   出願人：大日本スクリーン製造株式会社
• 特開平1-228125