特許
J-GLOBAL ID：200903011397058708

エネルギ選択スリット幅設定装置

発明者：
金山俊克

金山俊克 について


出願人/特許権者：
日本電子株式会社

日本電子株式会社 について


代理人 (1件)： 青木 健二 (外7名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-247077
公開番号（公開出願番号）：特開2001-076666
出願日： 1999年09月01日
公開日（公表日）： 2001年03月23日
要約：
【要約】【課題】エネルギ選択スリットのスリット幅を容易に設定可能にし、かつスリット幅の換算値を自動的に計算して直接表示することで、操作効率を向上する。【解決手段】オペレータが操作手段2を操作して長さの単位のスリット幅Wの設定操作を行うと、CPU7は、スリット幅W(μm)の設定操作信号に基づいてスリット幅自動設定手段3を駆動制御する。これにより、スリット幅自動設定手段3は、エネルギ選択スリットをこのスリット幅Wに自動的に設定する。また同時に、CPU7は、スリット幅Wに基づいてそのエネルギ換算値dE(eV)を計算するとともに、スリット幅Wおよびエネルギ幅dE(eV)の表示信号を表示手段4に出力する。これにより、表示手段4はスリット幅Wおよびエネルギ幅dEを表示する。こうして、設定操作された長さの単位のスリット幅Wが直接にエネルギの幅dE(eV)として表示される。
請求項（抜粋）：
電子顕微鏡に装着されるエネルギフィルタに設けられ、試料からの電子の所望のエネルギを選択するエネルギ選択スリットにおいて、オペレータによって操作され、スリット幅を設定操作する操作手段と、前記エネルギ選択スリットのスリット幅をこの操作手段で設定操作されたスリット幅に対応して設定するスリット幅自動設定手段と、前記操作手段で設定操作されたスリット幅に基づいて前記スリット幅自動設定手段を作動制御する制御装置とを備えていることを特徴とするエネルギ選択スリット幅設定装置。
IPC (2件)：
H01J 49/44 ,  H01J 37/244
FI (2件)：
H01J 49/44 ,  H01J 37/244
Fターム (10件)：
5C033AA03 ,  5C033AA05 ,  5C033NN01 ,  5C033NN03 ,  5C033NP04 ,  5C033NP08 ,  5C038KK04 ,  5C038KK10 ,  5C038KK17 ,  5C038KK18
引用特許：
出願人引用 (4件)
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審査官引用 (2件)

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