特許
J-GLOBAL ID：200903011398180159
電子線照射を用いたドーピング方法
発明者：
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出願人/特許権者：
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代理人 (1件)：
伊藤 洋二
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-323496
公開番号（公開出願番号）：特開平11-162860
出願日： 1997年11月25日
公開日（公表日）： 1999年06月18日
要約：
【要約】【課題】 ドーパント基材から自由原子を生成するために必要な最低励起エネルギーよりも低いエネルギーの電子線で、ドーピングが行えるようにする。【解決手段】 ドーピング基材12を構成する元素の励起エネルギーよりも低い励起エネルギーを有する元素種で構成された1次拡散用基材15を設け、この1次拡散用基材15に電子線照射を行う。これにより、1次拡散用基材15から1次拡散原子15aを拡散させ、さらにこの1次拡散原子15aの拡散に基づいてドーパント基材12からドーパント原子12aを拡散させる。このようにすれば、電子線14のエネルギーは、1次拡散用基材15から1次拡散原子15aが生成できる程度のものであれば良い。これにより、ドーパント基材12に直接電子線照射を行う場合に比して最低励起エネルギーを低くすることができる。
請求項（抜粋）：
電子線(14)の照射によりドーパント基材(12)からドーパント原子(12a)を拡散させ、前記ドーパント基材(12)に隣接して設けられた被ドーピング基板(11)にドーピングを行う電子線照射を用いたドーピング方法において、前記ドーパント基材(12)のうち、前記被ドーピング基板(11)が設けられた面と反対側の面に、該ドーパント基材(12)に隣接するように、前記ドーパント基材(12)を構成する元素の最低励起エネルギーよりも低い最低励起エネルギーを有する元素種で構成された1次拡散用基材(15)を設け、この1次拡散用基材(15)に前記電子線(14)の照射を行うことにより、前記1次拡散用基材(15)から該第1拡散用基材(15)を構成する原子(15a)を拡散させ、この原子(15a)の拡散に基づいて前記ドーパント基板(12)からドーパント原子(12a)を拡散させることを特徴とする電子線照射を用いたドーピング方法。
IPC (4件)：
H01L 21/22
, C30B 31/20
, H01L 21/225
, H01L 21/263
H01L 21/22 E
, C30B 31/20
, H01L 21/225 D
, H01L 21/263 E
