特許

J-GLOBAL ID：200903011489026713

紫外線センサ

発明者： 久米 博 ,  大串 秀世
出願人/特許権者： 科学技術振興事業団 ,  独立行政法人国立環境研究所 ,  独立行政法人産業技術総合研究所
代理人 (3件)： 福田 賢三 ,  福田 伸一 ,  福田 武通
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2002-223221
公開番号（公開出願番号）：特開2004-061417
出願日： 2002年07月31日
公開日（公表日）： 2004年02月26日
要約：

【課題】紫外線を所望の波長領域に応じて検出することができるようにする。【解決手段】この発明の紫外線センサ10は、所望の波長領域の紫外線を検出するセンサであり、ダイヤモンド結晶中に含まれる窒素量の制御によって作成され、波長λ1以下の紫外線を吸収しその紫外線量に応じた検出値を出力する第1のダイヤモンドフォトダイオード11と、ダイヤモンド結晶中に含まれる窒素量の制御によって作成され、波長λ2(λ2>λ1)以下の紫外線を吸収しその紫外線量に応じた検出値を出力する第2のダイヤモンドフォトダイオード12と、第2のダイヤモンドフォトダイオード12の検出値から第1のダイヤモンドフォトダイオード11の検出値を減算し、その減算値を波長λ1〜λ2の紫外線量に応じた検出値として出力する紫外線検出手段13,14と、を備えることを特徴としている。【選択図】 図3

請求項（抜粋）：

所望の波長領域の紫外線を検出する紫外線センサにおいて、 ダイヤモンド結晶中に含まれる窒素量の制御によって作成され、波長λ1以下の紫外線を吸収しその紫外線量に応じた検出値を出力する第1のダイヤモンドフォトダイオードと、 ダイヤモンド結晶中に含まれる窒素量の制御によって作成され、波長λ2(λ2>λ1)以下の紫外線を吸収しその紫外線量に応じた検出値を出力する第2のダイヤモンドフォトダイオードと、 第2のダイヤモンドフォトダイオードの検出値から第1のダイヤモンドフォトダイオードの検出値を減算し、その減算値を波長λ1〜λ2の紫外線量に応じた検出値として出力し表示する紫外線検出手段と、 を備えることを特徴とする紫外線センサ。

IPC (3件)：

G01J1/02 ,  G01J1/42 ,  H01L31/10

FI (3件)：

G01J1/02 G ,  G01J1/42 A ,  H01L31/10 A

Fターム (25件)：

2G020AA05 ,  2G020BA20 ,  2G020CA02 ,  2G020CB43 ,  2G020CC26 ,  2G020CD11 ,  2G020CD24 ,  2G020CD36 ,  2G020CD55 ,  2G065AA04 ,  2G065AA15 ,  2G065AB05 ,  2G065BA09 ,  2G065BB26 ,  2G065BC16 ,  2G065BD02 ,  2G065DA07 ,  5F049MA01 ,  5F049MB03 ,  5F049MB07 ,  5F049MB11 ,  5F049TA13 ,  5F049UA01 ,  5F049UA20 ,  5F049WA05

引用特許：

審査官引用 (1件)

• 特開平2-278883