特許

J-GLOBAL ID：200903011492670143

IC試験装置

発明者： 増田 登 ,  南齋 雄一
出願人/特許権者： 株式会社アドバンテスト
代理人 (1件)： 前田 均 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-209634
公開番号（公開出願番号）：特開2000-046904
出願日： 1998年07月24日
公開日（公表日）： 2000年02月18日
要約：

【要約】【課題】液体窒素に代わる低温印加装置を備え、さらにハンドラと低温印加装置とが連動するIC試験装置を提供する。【解決手段】被試験ICをテスト工程に搬送し、少なくとも低温テストを行ったのちテスト結果に応じて被試験ICを分類するハンドラ10と、冷凍サイクル210および当該冷凍サイクルにより熱交換された気体をテスト前の被試験ICに供給する冷風供給系220を有する冷凍装置20とを備えたIC試験装置1であり、ハンドラ10の常温復帰運転と冷凍装置20のデフロスト運転とが連動して実行される。

請求項（抜粋）：

被試験ICをテスト工程に搬送し、少なくとも低温テストを行ったのちテスト結果に応じて被試験ICを分類するハンドラと、冷凍サイクルおよび当該冷凍サイクルにより熱交換された気体をテスト前の被試験ICに供給する冷風供給系を有する冷凍装置と、を備えたIC試験装置において、前記ハンドラの常温復帰運転と前記冷凍装置のデフロスト運転とが連動して実行されることを特徴とするIC試験装置。

IPC (2件)：

G01R 31/26 ,  H01L 21/66

FI (3件)：

G01R 31/26 H ,  G01R 31/26 Z ,  H01L 21/66 H

Fターム (10件)：

2G003AA07 ,  2G003AC03 ,  2G003AD04 ,  2G003AG11 ,  4M106CA62 ,  4M106DH45 ,  4M106DH46 ,  4M106DH47 ,  4M106DH60 ,  4M106DJ28

引用特許：

審査官引用 (3件)

• IC試験装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平7-194838   出願人：株式会社アドバンテスト
• IC用低温ハンドラ
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平4-325956   出願人：株式会社エーアイテック
• 特開平4-066882